光刻機(jī)冷卻裝置水冷式冷水機(jī)

冷水機(jī)組采用*的微電腦智能化控制系統(tǒng)，精確控制工業(yè)生產(chǎn)過程所需的各種溫度（5℃～35℃）。不僅調(diào)控溫度全面實(shí)現(xiàn)人機(jī)界面功能且保證機(jī)組控溫精度高達(dá)±1℃。對于其他溫度范圍可按要求定制。

1、制冷壓縮機(jī)及其它制冷配件和控制元器件均采用國內(nèi),不僅保證機(jī)組性能的充分發(fā)揮，同時(shí)確保機(jī)組具有較長的使用壽命。

2、冷水機(jī)組具備完善的保護(hù)裝置（高壓、低壓、過壓、欠壓、過載、缺相、時(shí)間延時(shí)、缺水保護(hù)等）及聯(lián)鎖控制線路,且主要故障均在面板上顯示,檢修簡易。

3、節(jié)流方式均采用外平衡熱力膨脹閥控制，溫度調(diào)節(jié)范圍廣，制冷劑流量自動(dòng)控制，機(jī)組運(yùn)行穩(wěn)定，能效比高，與目前市場上普遍采用的毛細(xì)管節(jié)流相比，具有*的*性。當(dāng)工況如環(huán)境溫度、要求的水溫、熱負(fù)荷等變化時(shí)，毛細(xì)管無法自我調(diào)節(jié)，此時(shí)制冷量下降，同時(shí)可能會(huì)造成壓縮機(jī)排氣溫度過高、潤滑性下降或液擊，直接影響機(jī)組的使用壽命，嚴(yán)重時(shí)制冷系統(tǒng)無法正常工作。

4、水冷式冷凝器采用無縫齒狀外螺紋銅管殼管式，數(shù)控車床精細(xì)加工，具有特強(qiáng)換熱效率，壽命長，可拆洗等優(yōu)點(diǎn)；風(fēng)冷式冷凝器采用蜂窩鋁翅片串高效內(nèi)螺紋紫銅管配合高效軸流風(fēng)機(jī)，換熱效果非常好。

5、蒸發(fā)器可根據(jù)不同用途選擇如（不銹鋼水箱盤管式、不銹鋼板式、干式殼管式、電鍍耐酸蒸發(fā)器）。

6、選不銹鋼優(yōu)質(zhì)水泵，干燥過濾器等部件勻采用美國艾默森品牌，可靠耐用。

7、按需內(nèi)置或外置補(bǔ)給貯水箱，避免啟停頻繁，自動(dòng)或手動(dòng)補(bǔ)充水。

有適合各種機(jī)械設(shè)備配套之機(jī)型，可按客戶要求特別制造。

特殊配電要求可定制。

冷凍水的壓力和溫度——講解

　　空調(diào)用冷水機(jī)組一般是在標(biāo)準(zhǔn)工況所規(guī)定的冷水回水溫度12℃，供水溫度7℃，溫差5℃的條件下運(yùn)行的。對于同一臺(tái)冷水機(jī)組來說，其運(yùn)行條件不變，外界負(fù)荷一定的情況下，冷水機(jī)組的制冷量是一定的。此時(shí)，通過蒸發(fā)器的冷水流量與供、回水溫差成反比，即冷水流量越大，溫差越小；反之，流量越小，溫差越大。所以，冷水機(jī)組工況規(guī)定冷水供回水溫差為5℃，這實(shí)際上是規(guī)定了機(jī)組的冷水流量。這種冷水流量的控制就表現(xiàn)為控制冷水通過蒸發(fā)器的太力降。

　　在標(biāo)準(zhǔn)工況下，蒸發(fā)器上冷水供回水壓降調(diào)定為0.5kgf/cm2。其壓降調(diào)定方法是調(diào)節(jié)冷泵出口閥門開度，和蒸發(fā)器供、回水閥門開度。閥門開度調(diào)節(jié)的原則是：蒸發(fā)器出水有足夠的壓力來克服冷水閉式循環(huán)系統(tǒng)中阻力；機(jī)組在負(fù)擔(dān)設(shè)計(jì)負(fù)荷的情況下運(yùn)行，蒸發(fā)器進(jìn)、出水溫差為5℃。此時(shí)進(jìn)、出蒸發(fā)器的冷水壓降為0.5kg/cm2左右。

　　按照上述要求，閥門一經(jīng)確定，冷水系統(tǒng)各閥門開度大小就應(yīng)相對穩(wěn)定不變。即使在非調(diào)定工況下運(yùn)行（如卸載運(yùn)行）旱，各閥門也應(yīng)相對穩(wěn)定不變。應(yīng)當(dāng)注意，全開閥門加大冷水流量，減少進(jìn)、出水溫差的做法是不可取的。這樣做雖然會(huì)使蒸發(fā)器的蒸發(fā)溫度提高，機(jī)組的冷量有所增加，但水泵功率也因此而提高，兩相比較得不償失。所以，蒸發(fā)器冷水側(cè)進(jìn)、出水壓降控制在49.05kPa(0.5kgf/m2)為宜。

　　一般來說，冷水供水管上的壓力，只要能夠滿足克服冷水管系統(tǒng)中管道上的陰力損失就可以了，這可以從安裝在冷水泵上的吸入壓力表讀數(shù)來判別。然后通過控制冷水泵出水閥的開度，可以調(diào)節(jié)冷水供水壓力。將出水閥開度關(guān)小，則冷水泵背壓提高，通過水泵的流量減少，水泵功率消耗下降，這時(shí)蒸發(fā)器的供水壓力下降，但該壓力無論如何也不應(yīng)低于滿足蒸發(fā)器供、回水壓降為49.05kPa(0.5kgf/m2)的要求。

　　為了冷水機(jī)組的運(yùn)行安全，蒸發(fā)器出水溫度一般不低于3℃。此外，冷水系統(tǒng)雖然是封閉的，在蒸發(fā)器中水側(cè)結(jié)垢和腐蝕不會(huì)像冷凝器那樣嚴(yán)重，但從設(shè)備檢查維修要求出發(fā)，應(yīng)每年對蒸發(fā)器管道的水側(cè)和冷水系統(tǒng)的其他管道清洗一次。

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