中空平臺
- 公司名稱 無錫地心科技有限公司
- 品牌 地心科技
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/8/11 10:15:04
- 訪問次數(shù) 14
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應用領域 | 能源,電子/電池,電氣,綜合 |
中空平臺是地心科技高精度和高動態(tài)性能平面氣浮平臺，它是XY雙氣浮軸承正負壓設計，采用空氣環(huán)繞型預載，利用空氣負壓來平衡氣浮導軌往上浮和下壓預載力，保證氣浮面的正常氣隙，幾何性能非常出色，俯仰和偏擺角度均小于2角秒。
雙氣浮軸承設計提升Surface系列氣浮平臺的負載能力和剛度，一階自然響應頻率可達330Hz以上，空載截止頻率可達100Hz以上，使其具備高速高效運動，同時又能減少步進穩(wěn)定時間。
中空平臺雙驅(qū)軸與橫梁軸均采用空氣導軌的H橋式結(jié)構(gòu)，零摩擦設計保證了出色的動態(tài)性能和效率，速度可達2m/s，加速度2g。Surface 系列平臺行程可以根據(jù)客戶要求定制，還可與Surface Z 、Surface Theta組合為X-Y-Z-Theta的多軸系統(tǒng)， 適用于不同尺寸的和工藝的晶圓檢測應用。
Surface系列平臺最小步進和在位穩(wěn)定性測試
10nm最小步進（ASH反饋，配置線性放大器）
備注
（1）適配-ASH反饋，配置線性放大器；
（2）空載，需配置相應功率的放大器，速度受限于反饋分辨率；
（3）默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統(tǒng)的性能指標與實際載荷和工作點位置有關；
（4）氣缸供氣需配置空濾三聯(lián)件，必須清潔、干燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據(jù)平臺實際負載重量可調(diào)；
（5）為了防止空氣軸承氣壓不足，建議安裝氣壓開關，信號輸入到運動控制器連接急停（E-STOP）端口。
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