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POLOS® SPIN200x 基材旋涂機 PTFE 高級版
  • POLOS® SPIN200x 基材旋涂機 PTFE 高級版

貨物所在地:湖北武漢市

更新時間:2025-05-28 16:54:59

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光源
加熱設(shè)備
攪拌/混勻設(shè)備
振蕩/搖床設(shè)備
培養(yǎng)/滅菌消毒箱
離心機
水環(huán)地質(zhì)設(shè)備
焊接設(shè)備
馬弗爐
穿戴傳感設(shè)備
低溫設(shè)備
細(xì)度測試儀
計量儀器
烘箱干燥箱
水處理設(shè)備
封裝設(shè)備
清洗設(shè)備
實驗常規(guī)儀器和其它
生物實驗儀器
電子元器件
POLOS® SPIN200x 基材旋涂機 PTFE 高級版
POLOS® SPIN200x是一種多功能、高質(zhì)量的基材旋涂機,由PTFE 制成。
它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計。

POLOS® SPIN200x 基材旋涂機 PTFE 高級版

POLOS® SPIN200x是一種多功能、高質(zhì)量的基材旋涂機,由PTFE 制成。

它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計。

可以同時實現(xiàn)臺式(Table top)和嵌入式(In-deck)版本,用于手動或自動(可選)化學(xué)藥劑分配。

適用于涂層、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。


POLOS® SPIN200x 基材旋涂機 PTFE 高級版

腔室規(guī)格:

- 最大支持8" (200mm) 晶圓

- 最大支持6" x 6" (105mm) 基板

- 材質(zhì): PTFE


硬件規(guī)格

- 液體過濾器

- 具有特殊的外殼和排水設(shè)計,可在現(xiàn)場輕松切換臺式和嵌入式型號.

- 配備中心注射架,用于安裝注射器或分配噴嘴

- 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全

-大型(可拆卸)觸摸顯示屏

- USB 端口,用于在 USB 驅(qū)動器上存儲配方和進(jìn)行軟件更新

- 8 I/O 端口

- 能夠定義電機歸零位置,便于在機器人控制/自動化環(huán)境中進(jìn)行集成

- 通過集成步進(jìn)電機實現(xiàn)自動開蓋和關(guān)蓋.


驅(qū)動單元規(guī)格:

- 采用間接無刷驅(qū)動單元

- 最高轉(zhuǎn)速可達(dá)12,000 RPM(取決于基板/卡盤)

- 具有高加速度和高精度

- 加/減速范圍為1-30,000 RPM

- CW、CCW旋轉(zhuǎn)和Puddle選項


隨附旋涂儀卡盤和適配器:

-隨附1x A-V87-S96-PP-HD, 真空卡盤

-隨附1 x A-V36-S45-PTFE-HD, 真空卡盤

-隨附1 x D-V10-S50-PTFE-HD, 碎片適配器

- FCA SPS-Europe, The Netherlands







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