HD-2700帶有球差校正的場發(fā)射掃描透射電子顯微鏡

    電鏡球差校正技術的實用化，使得同時進行超高分辨率觀察和超高靈敏度分析成為可能。日立高新技術公司與CEOS公司共同的努力，成功地開發(fā)出了新一代掃描透射電子顯微鏡（STEM）。
    HD-2700通過球差校正，用大會聚角獲得了亞納米級電子束，在分辨率和分析性能獲得重大的進步。
    HD-2700共有三種型號，分別是配有球差校正的高分辨型和標準型，以及無球差校正型，可根據(jù)應用需求選擇。
 

特點：
1. 高分辨觀察
*利用金顆粒保證0.144nm分辨率DFSTEM像（標準型）
2.增加了探針電流（約為非校正的STEM探針電流的10倍），可以進行高速、高靈敏度能譜分析
*可以在更短的時間內獲得元素的面分布圖
*檢測微量元素成為可能
3.簡化的操作
*提供了的GUI自動調節(jié)球差校正器
4.整體的解決方案
*樣品桿與日立FIB兼容，提供了納米尺度的整體解決方案：從制樣到數(shù)據(jù)獲得和zui終分析
5.多種評價/分析功能可選
*同時獲得和顯示SE&BF、SE&DF、BF&DF、DF/EDX和DF/EELS像
*可以配備ELV-2000型實時元素Mapping系統(tǒng)（DF-STEM像可以同時獲得）
*實時衍射（DF-STEM像和衍射像可以同時觀察）
*低劑量功能可以減少由電子束造成的樣品破壞/污染
*可以配備超微柱頭樣品桿進行三維分析（360度旋轉）
*精確的放大倍率校準功能
 

技術指標：

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