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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 |
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海德漢公司的光學(xué)掃描光柵尺或編碼器的測量基準都是周期刻線－光柵。這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。對于大長度的光柵尺，用鋼帶作為光柵尺基體。
海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵。
? METALLUR：抗污染的鍍金層金屬柵線；典型柵距：20 μm
? SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵；*抗污能力；典型柵距：
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺LIC 2117，LIC 2197
式直線光柵尺，測量長度達3 m
• 測量步距100 nm或50 nm
• 將鋼尺帶穿入鋁殼中并在中間位置固定
• 直線光柵尺和讀數(shù)頭配套使用
增量測量法的磁柵由周期性柵線組成。通 過計算自某點開始的增量數(shù)（測量步距 數(shù)）獲得位置信息。由于必須用參考 點確定位置值，因此測量基準的光柵尺上 還有一個參考點刻軌。在光柵尺上，由參 考點確定的位置是在一個信號周期分 配的。因此，必須通過掃描參考點建立絕 對基準點或確定上次選擇的原點。
在不理想的情況下，可能需要運動機床 測量范圍的相當大部分。為加快和簡化 “參考點回零”操作，許多海德漢尺帶距 離編碼參考點，這些參考點之間彼此相距 數(shù)學(xué)算法確定的距離。因此只需運動數(shù)毫 米，一旦移過兩個相鄰參考點后，后續(xù)電 子電路就能找到參考點位置（見下 表）。距離編碼參考點的光柵尺在型號后 均帶字母“C”（例如LIF 181C）。
敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺
對于距離編碼參考點，參考點B的位 置用兩個參考點間步距數(shù)和以下公式計 算：
