質(zhì)量流量測量儀用于在工藝技術(shù)領(lǐng)域直接測量氣體通過量。在體積流量測量儀中，還需要測量溫度和壓力或密度，因為氣體的密度或體積會因壓力的不同而發(fā)生變化。與之相反，質(zhì)量流量的測量并不受壓力和溫度影響。8701 型數(shù)字式質(zhì)量流量測量儀具有一個以硅芯片為基礎(chǔ)的傳感器（參見第 2 頁的描述），該傳感器直接處于旁路管道中。通過這種方式可以達(dá)到一個非常短的設(shè)備反應(yīng)時間。當(dāng)前流量會被作為模擬的標(biāo)準(zhǔn)信號輸出或者通過 RS 通訊輸出?？舍槍煞N不同的氣體對型號 8701 進(jìn)行校準(zhǔn)，用戶可在兩者之間進(jìn)行轉(zhuǎn)換。根據(jù)用戶要求的不同，在選擇與介質(zhì)相接觸的接頭的材料時應(yīng)確保，可利用所有的普通工藝氣體運(yùn)行設(shè)備。典型用途是，在檢驗機(jī)構(gòu)、環(huán)境技術(shù)、醫(yī)療技術(shù)、分析結(jié)束中測量氣體流量。

采用半導(dǎo)體技術(shù)的直接流量測量裝置，適合額定流量范圍 20 mlN/min 至 80 lN/min
高精度
反應(yīng)快速
可選的現(xiàn)場總線
標(biāo)稱流量范圍為0.010 l

N/min至

80升

N/分鐘

???高精度

?響應(yīng)速度非?？?/p>

?可選：現(xiàn)場總線接口

8701型質(zhì)量流量計適用于測量

大流量范圍。熱MEMS傳感器

直接位于氣流中，因此

達(dá)到非?？斓捻憫?yīng)時間。

8701型可選擇校準(zhǔn)兩個

不同的氣體；用戶可以在

這兩種氣體。作為電氣接口，

模擬標(biāo)準(zhǔn)信號和現(xiàn)場總線

可用。

技術(shù)數(shù)據(jù)

標(biāo)稱流量范圍1）

（列名）

1000萬/分鐘）至80升

N/min（氮氣），

見第2頁的表格

量程1:50（2?…?100?%），根據(jù)要求更高量程

工作氣體中性，無污染氣體，

其他按要求

帶換算系數(shù)的標(biāo)定氣體工作氣體或空氣

   大工作壓力

（入口壓力）

10巴（145磅/平方英寸）

氣體溫度-?10?…?+?70°C（-?10?…?+?60°C，含氧）

環(huán)境溫度-?10?…?+?50°C

準(zhǔn)確度

（預(yù)熱1分鐘后）

讀數(shù)的0.8%或

?0.3?%F.S.（滿標(biāo)度）

重復(fù)性±?0.1?%F.S。

響應(yīng)時間（t95%）<300毫秒

材料

身體?

住房

海豹

鋁或不銹鋼

PC（聚碳酸酯）或金屬

氟橡膠、三元乙丙橡膠

端口連接，美國標(biāo)準(zhǔn)錐管螺紋四分之一，G四分之一，旋入式配件或法蘭，

其他按要求

電子。連接

此外，對于現(xiàn)場總線：

插頭D-Sub 15針

帶PROFIBUS DP：插座M12 5針

帶CANopen：插座M15針

電源24 V DC

1） 標(biāo)稱流量值是可測量的標(biāo)定   大流量值。這個

標(biāo)稱流量范圍定義了可能的標(biāo)稱流量（滿標(biāo)度值）范圍。

2） 指數(shù)N：流速參考1.013巴和0°C。

或者，有一個指數(shù)S，它是指1.013巴和20°C

質(zhì)量流量傳感器根據(jù)以下熱原理工作：

具有提供獨立于

壓力和溫度。

總氣流的一小部分被轉(zhuǎn)移到

設(shè)計旁路通道，確保層流條件。

傳感器元件是浸入該流道壁中的芯片。

該芯片采用MEMS技術(shù)制造，包含一個加熱電阻和

對稱布置的兩個溫度傳感器（熱電堆）

加熱器的上游和下游。的差動電壓

熱電堆是測量通過流量傳感器的質(zhì)量流量。

校準(zhǔn)程序?qū)崿F(xiàn)傳感器的分配

通過裝置的總流量信號。

關(guān)于單位選擇的說明

流體相容性、正常入口壓力和正確的

流量計量程的選擇。MFM上的壓降取決于流速和工作壓力。