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超臨界微粒制備裝置在材料、化工、輕工、冶金、電子、生物醫(yī)學等領域得到廣泛應用。過去已發(fā)展形成了一些常規(guī)技術用于制備超細粒子，但這些方法由于各自存在的缺點而制約著其應用。
噴霧干燥、超細碾磨的主要缺點是形成的粒子尺寸分布寬，并且只有一小部分的粒子屬于納米范圍。如今，超臨界裝置為超細粉體，特別是熱敏性、具生物活性或具催化活性粉末的制備提供了一條新途徑。
純物質在密閉容器中隨溫度與壓力的變化會呈現(xiàn)出液體、氣體、固體等狀態(tài)。當溫度和壓力達到特定的臨界點以上時，液體與氣體的界面會消失，液、氣合并為均勻的流體，這就被稱為“超臨界流體”。
超臨界流體的特性：
超臨界流體同時具備氣、液兩態(tài)的雙重性質（二像性）。
1、像液體：密度、溶解能力和傳熱系數(shù)接近于液體，比氣體大數(shù)百倍。它是好的溶劑，可溶解許多固體，包括難溶的樹脂、油污、氮化硅、晶圓和線路板蝕刻后的殘渣等。
2、像氣體：黏度、表面張力和擴散系數(shù)接近于氣體，擴散速率比液體快約兩個數(shù)量級，傳遞速率遠高于液體。
超臨界微粒制備裝置可循環(huán)使用，從而節(jié)省資源與成本。其種類很多，常用的是二氧化碳和水。在眾多的超臨界流體中，二氧化碳具有低的臨界溫度和臨界壓力，它節(jié)能環(huán)保、原料易得、價格低廉、溶解力強、無毒且阻燃、易于回收利用、產(chǎn)物易純化，適于大規(guī)模生產(chǎn)和應用，所以成為目前國內外應用廣的超臨界流體。
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