微流控芯片的光刻工藝和產(chǎn)品特點說明

來源：納智達（上海）納米技術(shù)有限公司 2022年10月13日 15:05

　　微流控芯片的光刻工藝：

　　光刻是用光刻膠、掩模和紫外光進行微制造，工藝如下：

　　（a）仔細地將基片洗凈；

　?。╞）在干凈的基片表面鍍上一層阻擋層，例如鉻、二氧化硅、氮化硅等；

　?。╟）再用甩膠機在阻擋層上均勻地甩上一層幾百A厚的光敏材料——光刻膠。光刻膠的實際厚度與它的粘度有關(guān)，并與甩膠機的旋轉(zhuǎn)速度的平方根成反比；

　?。╠）在光掩模上制備所需的通道圖案。將光掩模復(fù)蓋在基片上，用紫外光照射涂有光刻膠的基片，光刻膠發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)；

　?。╡）用光刻膠配套顯影液通過顯影的化學(xué)方法除去經(jīng)曝光的光刻膠。這樣，可用制版的方法將底片上的二維幾何圖形精確地復(fù)制到光刻膠層上；

　?。╢）烘干后，利用未曝光的光刻膠的保護作用，采用化學(xué)腐蝕的方法在阻擋層上精確腐蝕出底片上平面二維圖形。

　　微流控芯片的產(chǎn)品特點：

　　提供真空環(huán)境，提高成功率

　　采用真空熱壓系統(tǒng)，可根據(jù)不同材料、不同芯片通道寬度、深度設(shè)定壓力、溫度、時間，以達到熱壓及鍵合要求。

　　控溫準(zhǔn)確，面內(nèi)熱分布均勻

　　設(shè)備使用恒溫控制加熱技術(shù)，實現(xiàn)溫度精確控制；鋁合金工作平臺，上下面平整，熱導(dǎo)速度快、熱導(dǎo)均一。

　　適用于多種尺寸芯片加工，實驗成本低

　　設(shè)備加熱鍵合面積大，涵蓋常用尺寸的微流控芯片。

　　參數(shù)精準(zhǔn)可調(diào)

　　該設(shè)備可針對不同材料設(shè)置鍵合溫度、壓力與真空度，精準(zhǔn)低偏差。

　　操作靈活簡單，上手快

　　工作平臺操作方式為上下芯片手工對準(zhǔn)貼合，自動加壓鍵合。

相關(guān)產(chǎn)品

凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。

国产精品视频一区二区三区四,亚洲av美洲av综合av,99国内精品久久久久久久,欧美电影一区二区三区电影