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日本ORION好利旺干式真空泵KRF25A-V-01B的介紹

來源:巖瀨自動化機械設備(武漢)有限公司   2025年07月16日 17:30  

在精密制造、半導體封裝、實驗室研究等對真空環(huán)境要求嚴苛的領域,ORION好利旺推出的KRF25A-V-01B干式真空泵憑借其低噪音、高真空度、長壽命等核心優(yōu)勢,成為替代傳統(tǒng)油封式真空泵的創(chuàng)新產(chǎn)品。本文將從技術(shù)參數(shù)、設計亮點、應用場景及維護保養(yǎng)四個維度,解析這款工業(yè)級真空設備的核心價值。

一、技術(shù)參數(shù):精準匹配工業(yè)需求

KRF25A-V-01B屬于ORION好利旺KRF標準系列干式真空泵,其核心參數(shù)設計緊扣工業(yè)場景需求:

1. 排氣量與真空度:在50/60Hz電源下,設計排氣量達405/480 L/min,極限真空度可達86 kPa(60Hz工況),常用真空度推薦值60 kPa,最大可承受80 kPa壓力,可滿足從半導體晶圓搬運到真空干燥箱的多樣化需求。

2. 動力配置:搭載0.75kW三相電機,標準電流值在50/60Hz下分別為3.99A和3.47A,配管接口采用Rc 3/4標準螺紋,兼容多數(shù)工業(yè)管路系統(tǒng)。

3. 噪音控制:通過優(yōu)化轉(zhuǎn)子葉片形狀與氣路設計,運行噪音低至62 dB(60Hz工況),較傳統(tǒng)油封泵降低30%以上,尤其適合實驗室、潔凈車間等對環(huán)境噪音敏感的場景。

二、設計亮點:安全與長壽命的雙重突破

1. 無油干式結(jié)構(gòu):采用全無油設計,消除油霧污染風險,避免傳統(tǒng)油封泵因油品揮發(fā)導致的真空度下降問題。其密封結(jié)構(gòu)經(jīng)特殊處理,可長期穩(wěn)定抽除水蒸氣、有機溶劑等可凝性氣體,在LED封裝、鋰電池烘烤等工藝中表現(xiàn)突出。

2. 長壽命葉片材料:轉(zhuǎn)子葉片采用新型復合材料,耐磨性較傳統(tǒng)金屬葉片提升30%,配合精密加工的泵腔內(nèi)壁,使整機壽命延長至20,000小時以上,顯著降低設備更換頻率。

3. 模塊化維護設計:泵體采用分體式結(jié)構(gòu),關鍵部件如轉(zhuǎn)子、葉片、密封圈等均可快速拆卸更換。例如,當泵腔內(nèi)積存粉塵時,用戶可通過低頻運轉(zhuǎn)(15Hz)配合無水乙醇清洗,無需返廠維修,維護成本降低50%以上。

三、應用場景:半導體制造到新能源產(chǎn)業(yè)全覆蓋

1. 半導體制造:在晶圓搬運、光刻膠涂布等工藝中,KRF25A-V-01B可提供穩(wěn)定的高真空環(huán)境,確保微米級精度不受油霧干擾。某芯片廠商實測數(shù)據(jù)顯示,該泵在連續(xù)運行1,000小時后,真空度波動僅±0.5 kPa,滿足5nm制程要求。

2. 新能源電池生產(chǎn):鋰電池極片烘烤、電解液注液等工序需嚴格控濕,該泵可快速抽除烘箱內(nèi)水蒸氣,將干燥時間從傳統(tǒng)4小時縮短至1.5小時,同時避免油品污染電池材料。

3. 實驗室與醫(yī)療設備:其低噪音特性使其成為核磁共振成像(MRI)冷卻系統(tǒng)、電子顯微鏡樣品室的理想真空源。某三甲醫(yī)院反饋,使用該泵后,MRI設備故障率下降40%,年維護成本減少8萬元。

四、維護保養(yǎng):科學延長使用壽命

1、定期清潔與潤滑

①粉塵清理:每500小時用無水乙醇清洗泵腔,重點清除轉(zhuǎn)子葉片根部積塵。

②軸承潤滑:采用32#或46#機械潤滑油,第一次運行100小時后更換,后續(xù)每1,000小時更換一次,油位需保持在油窗中心線。

③冷卻系統(tǒng)檢查:確保冷卻水進水溫度低于35℃,壓力不高于0.45 MPa,防止泵體過熱變形。

2、易損件更換周期

①密封圈:每2,000小時檢查一次,發(fā)現(xiàn)老化裂紋立即更換。

②葉片:每5,000小時檢測磨損量,當間隙超過0.1mm時需調(diào)整或更換。

③電機碳刷:每10,000小時更換,避免電火花損傷轉(zhuǎn)子。

3、故障預警與處理

①真空度下降:優(yōu)先檢查進氣口過濾網(wǎng)是否堵塞,其次檢測泵腔葉片磨損情況。

②異常噪音:立即停機檢查轉(zhuǎn)子軸承是否缺油或損壞,避免進一步擴大故障。

③電機過載:排查排氣管道是否彎折堵塞,或工況壓力是否超過泵的額定值。

五、結(jié)語

ORION好利旺KRF25A-V-01B干式真空泵通過技術(shù)創(chuàng)新重新定義了工業(yè)真空設備的性能標準。其無油設計、長壽命部件與模塊化維護體系,不僅解決了傳統(tǒng)泵的污染與維護難題,更以高性價比助力企業(yè)實現(xiàn)智能制造升級。在半導體、新能源等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展的今天,這款“靜音高效”的真空泵正成為推動產(chǎn)業(yè)升級的關鍵基礎設施。

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