2021/6/8 13:29:47 來源：
中國科學(xué)院物理研究所
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2018年8月8日，由中國儀器儀表學(xué)會分析儀器分會和長三角科學(xué)儀器產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟主辦的第五屆中國分析儀器學(xué)術(shù)年會在蘇州吳江海悅花園大酒店隆重舉行。會議當(dāng)晚舉行的“朱良漪分析創(chuàng)新獎”頒獎禮上，來自中國科學(xué)院物理研究所郇慶博士榮獲當(dāng)晚的“青年創(chuàng)新獎”?；x器網(wǎng)記者于次日采訪了郇慶，對其團(tuán)隊(duì)研發(fā)的掃描探針顯微鏡成套系統(tǒng)及其關(guān)鍵部件研制的相關(guān)情況進(jìn)行了進(jìn)一步的解讀。
中國科學(xué)院物理研究所博士郇慶
在頒獎詞中，是這樣來描述郇慶的：郇慶在超高真空高精尖儀器的研發(fā)方向做出了國際前沿水平的工作。從科學(xué)研究對高精尖儀器的需求出發(fā)，針對進(jìn)口科研儀器性能上的不完全匹配，通過一系列核心原理及器件的創(chuàng)新，不僅研制了高性能的儀器并在多家科研單位推廣，且以儀器為依托支撐了高水平科研成果的產(chǎn)出。特此頒發(fā)朱良漪青年創(chuàng)新獎！
在采訪中我們了解到，以郇慶為代表的中國科學(xué)院物理研究所團(tuán)隊(duì)在高精尖儀器的研發(fā)上取得了多項(xiàng)成就。其一是針對掃描顯微鏡成套系統(tǒng)研發(fā)了包括電子束加熱蒸發(fā)源、電阻加熱蒸發(fā)源、電子束加熱控制器、多功能溫度控制器等在內(nèi)的多項(xiàng)關(guān)鍵部件。其二則是掃描探針顯微鏡成套系統(tǒng)的改進(jìn)和研制，具體涵蓋了以下幾點(diǎn)：一是四探針STM系統(tǒng)的全面升級改造。郇慶和其研發(fā)隊(duì)伍通過對一臺商業(yè)化超高真空四探針STM系統(tǒng)的全面升級改造，使其多項(xiàng)性能獲得了顯著提升；二是超高真空變溫掃描隧道顯微鏡系統(tǒng)；三是新型光學(xué)——掃描探針顯微鏡分子束外延聯(lián)合系統(tǒng)。郇慶等人研制了多臺掃描探針顯微鏡-分子束外延聯(lián)合系統(tǒng)，該系統(tǒng)可在超高真空、低溫環(huán)境下工作，并具有光學(xué)兼容的特點(diǎn)；四是高通量連續(xù)組分外延薄膜制備及原位局域電子態(tài)表征系統(tǒng)。他們將高通量連續(xù)組分外外延制備手段與原位電子態(tài)表征技術(shù)相結(jié)合，用于超導(dǎo)薄膜體系的研究。系統(tǒng)采用了全新的、具有自主知識產(chǎn)權(quán)的連續(xù)組分外延薄膜制備核心技術(shù)，從原理上解決了現(xiàn)有技術(shù)的缺陷和不足。
在談及產(chǎn)品的創(chuàng)新點(diǎn)時，郇慶表示，由于產(chǎn)品種類比較多，他就以新型光學(xué)掃描隧道顯微鏡系統(tǒng)和高通量連續(xù)組分外延薄膜制備及原位局域電子態(tài)表征系統(tǒng)兩套產(chǎn)品來舉例說明。其中，新型光學(xué)掃描隧道顯微鏡系統(tǒng)是在科技部重大儀器專項(xiàng)的支持下實(shí)施的。儀器核心的掃描探針就是由郇慶團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的。除此之外，他們還做了自己的創(chuàng)新和改進(jìn)，比如設(shè)置了光學(xué)收集和引路通道、可以在超低溫真空環(huán)境下實(shí)現(xiàn)對力的調(diào)節(jié)、一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等。而另一款產(chǎn)品——高通量連續(xù)組分外延薄膜制備及原位局域電子態(tài)表征系統(tǒng)，則主要解決了現(xiàn)有機(jī)制的一些問題，例如積累誤差、機(jī)械磨損等。由于整個系統(tǒng)將高通量的連續(xù)薄膜制備與原位探表針系統(tǒng)進(jìn)行了結(jié)合，其本身也是一種集成創(chuàng)新。
以上這些產(chǎn)品目前面向的用戶主要是各高校和科研機(jī)構(gòu)。其中一些關(guān)鍵部件在北大、清華、南大等高校均有銷售，國外的耶魯大學(xué)、匹茨堡大學(xué)、伊利諾伊芝加哥大學(xué)等也在使用由中科院物理研究所研發(fā)的這些產(chǎn)品。據(jù)介紹，中科院物理研究所今年也將成立自己的高新技術(shù)企業(yè)，接下來將以更商業(yè)化的模式來推廣這些研究成果。但郇慶也表示，要想從一開始就找準(zhǔn)儀器的市場定位，無疑是不現(xiàn)實(shí)的。他解釋到，一件研究成果從實(shí)驗(yàn)室走向市場化，需要考慮的因素有很多，無論是產(chǎn)品的穩(wěn)定性，還是重復(fù)性、使用壽命等都需要不斷的優(yōu)化，因此前期的準(zhǔn)備工作顯得尤為重要。為此，他們目前需要做的就是積極做好前期的積累工作，拓寬儀器的應(yīng)用領(lǐng)域，更好的提升儀器的社會效益。
在采訪的后，郇慶表示，他會把這次獲獎當(dāng)做一個新的起點(diǎn)。他笑著說到，從小時候深受父親影響，喜歡與電路相關(guān)的小器材，到如今成功研發(fā)出自己多年前的構(gòu)想，這其中的每一步都是一種成長和累積。在采訪中，我們也發(fā)現(xiàn)，郇慶總是習(xí)慣性的將每次成果介紹的開頭表述為“我們”，大約在他看來，只有團(tuán)隊(duì)的力量才是他們實(shí)現(xiàn)突破的根本。未來，他們也將以此為契機(jī)，在分析儀器領(lǐng)域做出更多的成就。
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