資料簡介
電化學(xué)拋光是指在一定電解液中金屬工件的陽極溶解,從而使其表面粗糙度下降、光亮度提高,并產(chǎn)生一定金屬光澤的表面光整技術(shù)。拋光液通常有酸性、中性和堿性拋光液。其中酸性拋光液有:磷酸系、硫酸系、高氯酸系、磷酸-硫酸系,以及在各系基礎(chǔ)上派生出的硫酸-鉻酐、磷酸-鉻酐、硫酸-磷酸-鉻酐,再配以各種添加劑而成的拋光液,如鋼鐵件和鋁件在電化學(xué)拋光時(shí)常采用H3PO4-H2SO4等構(gòu)成的混合酸體系;半導(dǎo)體器件硅臺(tái)面的拋光,要用到H3PO4-HNO3等構(gòu)成的混合酸體系。電化學(xué)拋光液中如果硫酸過多,拋光速度過快,會(huì)加快金屬基體腐蝕,磷酸較多,可在工件表面吸附一層黏膜,亮度下降,拋光速度變慢。在電槽維護(hù)方面,要求定期測(cè)定拋光液酸度、磷酸和硫酸含量,因此對(duì)于拋光液中混酸含量的檢測(cè)具有重要實(shí)用價(jià)值。目前,對(duì)于混酸的分析主要用滴定法,其中傳統(tǒng)的人工滴定方法需要根據(jù)指示劑顏色變化判斷終點(diǎn),對(duì)操作人員的技術(shù)要求較高;利用自動(dòng)電位滴定儀進(jìn)行常規(guī)分析時(shí),有操作簡單,分析準(zhǔn)確度高等優(yōu)點(diǎn)。本文主要利用電位滴定法,對(duì)混酸含量進(jìn)行測(cè)定,為科研及生產(chǎn)提供了電化學(xué)拋光液中混酸組成比例的檢測(cè)方法。
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