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2024
11-182024
11-072024
10-31半導體解決方案 | 閥切換離子色譜法測定電子級雙氧水中微量陰離子含量
電子級雙氧水是大規(guī)模集成電路生產工藝中所必須的電子化學原料,被廣泛應用于半導體、超大集成電路裝配和加工過程中的清洗和腐蝕等方面。半導體硅材料純度較高,但在加工過程中,因各種原因會留下污染物,這些污染物如果不及時清理,就容易影響性能、精準度,甚至報廢。電子級雙氧水對品質要求、產品精度等要求都較高,通過閥切換離子色譜法可測定雙氧水中Cl-、SO42-、NO3-、PO43-等微量陰離子含量。實驗設備閥切換技術閥切換技術是離子色譜中常用的在線技術,主要用于基體的消除。一般是通過切換不同類型固定相的色譜柱2024
10-082024
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