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2023
03-30TOPTICA連續(xù)可調(diào)諧半導體激光器是怎樣實現(xiàn)可調(diào)諧的?
TOPTICA連續(xù)可調(diào)諧半導體激光器是怎樣實現(xiàn)可調(diào)諧的?激光二極管不同型號的TOPTICA激光器覆蓋的波長和功率情況將激光二極管轉(zhuǎn)變?yōu)榭烧{(diào)諧二極管激光器自1995年以來,TOPTICA將激光二極管轉(zhuǎn)換成可調(diào)諧二極管激光器,意味著gao端激光工具——通過集成額外的模式選擇元件,以及添加yi流的驅(qū)動器和光學期間。第一個商用可調(diào)諧二極管激光器是TOPTICAsDL100。多年來,它取得了極大的成功,最終被大大改進的DLpro和CTL所取代。激光二極管是各種消費產(chǎn)品中成熟的子組件,如激光指示器、條形碼掃2022
11-282022
11-212022
09-282022
09-15森泉提供環(huán)境測試服務,解決實驗中的環(huán)境噪音
許多超精密儀器制造商在其工具的安裝要求中還規(guī)定了環(huán)境合格標準。最終安裝地點通常必須滿足聲學噪聲、地面振動和/或磁場的嚴格要求,以使這些儀器符合其規(guī)格。例如,電子顯微鏡、半導體計量工具和核磁共振光譜儀就是這種情況。這種“噪音”的來源各不相同,可能為公路和鐵路交通、電梯、建筑、附近的人類活動以及針對特定工具要求而設(shè)計的不當建筑物。必須測量、分析這種環(huán)境噪音,并將其與制造商的規(guī)格進行比較,以確定計劃安裝地點是否合適。如果“原”房間不合適,那么必須確定振動、噪音或磁場消除系統(tǒng)是否能夠?qū)⒏蓴_減輕到制造商的2022
08-252022
08-162022
06-28主動壓電隔振與氣浮隔振的結(jié)合Cleanbench-AKTIV
新品Cleanbench-AKTIV主動壓電隔振與氣浮隔振的結(jié)合:CleanBenchAktiv™實驗臺是TMC在高性能地面振動控制方面的新突破。它將TMC的Everstill主動消振技術(shù)與MaxDamp氣浮隔振器相結(jié)合。Everstill可從0.5至0.7Hz開始提供出色的低頻消振性能,而MaxDamp可提供高頻率的較好隔振性能補充。比氣浮性能改善高達40倍:這種串聯(lián)式的組合結(jié)構(gòu),使我們的CleanBenchAktiv在特別關(guān)鍵的1-3Hz頻率內(nèi)性能提升明顯:提供比良好的空氣隔振臺垂直方向上高2022
03-082022
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05-07什么時候使用主動隔振系統(tǒng)?哪種方法更適合您的應用程序?(第一部分)
什么時候使用主動隔振系統(tǒng)?哪種方法更適合您的應用程序?(第一部分)主動系統(tǒng)隔振本章節(jié)將幫助工程師和科學家對主動隔振系統(tǒng)有一個大致的了解,它們是如何工作的,什么時候應該應用,以及它們有什么限制。由于半導體制造業(yè)在這一領(lǐng)域出現(xiàn)了許多應用,因此得到了特別的關(guān)注。5.1歷史反饋控制系統(tǒng)已經(jīng)存在了幾百年,但是在20世紀有了最大的發(fā)展。在第二次世界大戰(zhàn)期間,這項技術(shù)被用于防御系統(tǒng),取得了非常迅速的進展。這些發(fā)展還在繼續(xù),甚至在今天,大多數(shù)關(guān)于控制系統(tǒng)的文本都以戰(zhàn)斗機控制和倒彈制導系統(tǒng)為例。主動隔振系統(tǒng)是用于2021
02-05如何克服因地面振動影響光刻系統(tǒng)的圖案質(zhì)量?
如何克服因地面振動影響光刻系統(tǒng)的圖案質(zhì)量?振動對高級浸沒式光刻的影響沒有使用STACIS®在原基座的彈性體或剛性版本上獲得jia模式使用STACIS®STACIS主動隔振實現(xiàn)的模式所示的45納米線寬測試圖形是由AmphibianSystems公司生產(chǎn)的*浸入式光刻系統(tǒng)生產(chǎn)的,安裝在德克薩斯州*的SEMATECH公司。圖像之間的差異是由于地震振動對光刻過程的影響。所顯示的圖像是使用掃描電子顯微鏡獲得的。該工具初安裝在鋼和混凝土基座上,基座采用鋼支撐結(jié)構(gòu),其中包含商業(yè)彈性體隔振墊。這個基座沒有達到工2021
01-182021
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