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2025
07-232025
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07-02小型精密冷水機核心技術突破:±0.01℃控溫如何實現(xiàn)?
小型精密冷水機實現(xiàn)±0.01℃控溫的核心技術突破主要體現(xiàn)在以下方面:高精度溫度傳感器與實時反饋系統(tǒng)采用±0.01℃級高精度溫度傳感器,結合快速響應的ADC采樣技術,實現(xiàn)每秒數十次的水溫實時監(jiān)測。傳感器將溫度信號轉化為數字信號后,通過微處理器進行高速處理,確??販叵到y(tǒng)能捕捉到0.01℃級的微小波動。PID變頻控制算法的深度優(yōu)化通過比例-積分-微分(PID)算法的精細化調校,結合變頻壓縮機技術,實現(xiàn)制冷量與負載需求的精準匹配。微型直流變頻壓縮機的精準功率調節(jié)采用微型直流變頻壓縮機,通過每級0.25H2025
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02-26達沃西冷水機在半導體芯片加工環(huán)節(jié)中的應用
達沃西冷水機在半導體芯片加工環(huán)節(jié)中的應用達沃西半導體用冷水機在半導體芯片加工環(huán)節(jié)中的應用。冷水機的循環(huán)液的溫度、流量和壓力進行準確控制,以實現(xiàn)半導體工藝制程的控溫需求,是集成電路制造過程中的關鍵設備,溫控精度和溫控范圍要求高,應用在刻蝕、薄膜沉積、涂膠顯影、擴散與氧化、離子注入、CMP等設備。1.光刻(Photolithography)作用:光刻機在曝光過程中會產生大量熱量,溫度波動會導致光刻膠的形變和光刻圖案的偏移。冷水機通過提供±0.1℃以內的高精度冷卻水,維持光刻機光學系統(tǒng)及激光光源的恒溫2025
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