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2025
07-112025
07-09三維直寫光刻機能夠?qū)崿F(xiàn)大面積的微納結構加工
隨著科技的不斷進步,微納制造技術在半導體、光電子、生物醫(yī)學等領域的重要性日益凸顯。三維直寫光刻機作為一種先進的微納制造設備,憑借其高精度、高靈活性和無需掩模版的特點,成為現(xiàn)代微納制造的關鍵技術之一。三維直寫光刻機(3DDirectWriteLithography)是一種非接觸式光刻技術,通過直接在光刻材料上寫入圖案,而無需使用傳統(tǒng)的掩模版。其基本原理包括:1.光源:通常使用高能量激光作為光源,如紫外光(UV)或深紫外光(DUV),這些激光束可以精確地照射到光刻材料上。2.光學系統(tǒng):配備高分辨率的2025
07-032025
06-24無掩膜直寫光刻技術對比傳統(tǒng)掩膜光刻有什么優(yōu)勢
無掩膜直寫光刻設備定義為一種無需物理掩膜版、通過計算機控制的高精度光束(如激光束或數(shù)字微鏡器件)直接在光刻膠或感光材料的基材上曝光圖形的微納加工設備,適用于微納米級圖形制備。其核心技術基于光學或帶電粒子束(如激光直寫、DMD投影)直接掃描或投影圖案,消除了掩膜版制作環(huán)節(jié),實現(xiàn)高精度圖形轉(zhuǎn)移。設備的核心優(yōu)勢包括高靈活性、快速原型制造能力,以及顯著降低研發(fā)成本和時間周期。主要應用于科研機構、實驗室及小批量工業(yè)原型制造(如微流控芯片、半導體器件開發(fā))。?工作原理?:?激光直寫技術?:聚焦激光束掃描曝光2025
06-132025
06-112025
04-292024
12-132024
12-112024
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