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2025
03-18利用NexION 2000 ICP-MS對半導(dǎo)體級鹽酸中的雜質(zhì)進行分析
引言在半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)過程中，許多流程中都要用到各種酸類試劑。其中最重要的是鹽酸（HCl），其主要用途是與過氧化氫和水配制成混合物用來清潔硅晶片的表面。由于半導(dǎo)體設(shè)備尺寸不斷縮小，其生產(chǎn)中使用的試劑純度變得越來越重要，這是因為即使是少量雜質(zhì)也會導(dǎo)致設(shè)備的失效。國際SEMI標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的是金屬雜質(zhì)的最大濃度（SEMI標(biāo)準(zhǔn)C27-07081用于鹽酸），而半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)商對雜質(zhì)濃度的要求往往更加嚴(yán)格，這樣就給試劑供應(yīng)商帶來了更大的挑戰(zhàn)。其結(jié)果是，分析儀器也必須能夠?qū)Ω蜐舛鹊碾s質(zhì)成分精確檢測。電感耦合等2025
03-172025
03-17利用單顆粒ICP-MS在反應(yīng)模式下測定半導(dǎo)體有機溶劑中的 含鐵納米顆粒
簡介半導(dǎo)體產(chǎn)品中的金屬污染使產(chǎn)品品質(zhì)降低。半導(dǎo)體寬度越小，對金屬污染物的容忍度越低。最常見的金屬污染是過渡金屬元素和堿金屬元素。過渡金屬元素往往遍布半導(dǎo)體材料中并在表面形成多多種氧化物，其中鐵是最常見的污染物。單顆粒ICP-MS已成為納米顆粒分析的一種常規(guī)手段，采用不同的進樣系統(tǒng)，能在100-1000顆粒數(shù)每毫升的極低濃度下對納米顆粒進行檢測、計數(shù)和表征。除了顆粒信息，單顆粒ICP-MS還可以在未經(jīng)前級分離的情況下檢測溶解態(tài)元素濃度1。許多文獻表明單顆粒ICP-MS可以在各種基質(zhì)條件下對納米顆粒2025
03-14NexION 300S ICP-MS測定硅晶 片中的雜質(zhì)
引言控制硅基半導(dǎo)體器件中的雜質(zhì)含量是至關(guān)重要的，因為即使是超痕量的雜質(zhì)（包括堿和堿土元素、過渡金屬）都可能會導(dǎo)致器件發(fā)生缺陷，如擊穿電壓或高暗電流。出于質(zhì)量控制的目的，常規(guī)分析的硅主要有兩種類型：體硅和硅晶片表面。對體硅的分析可以使用一種非常強的酸將硅消解，如氫氟酸（HF）。硅晶片表面的分析常用的方法是氣相分解，包括使用極少量的酸（通常是HF）滴一滴在表面收集晶圓表面上的雜質(zhì)。這樣得到的樣品體積通常約為200μL。體硅的分析不存在樣品體積的問題，但是為了盡量減少樣品前處理耗費的時間，還是需要較小2025
03-13NexION 300S ICP-MS測定半導(dǎo)體級硝酸中的雜質(zhì)
引言目前，由于半導(dǎo)體器件在設(shè)計時都選擇更小的線寬，因此就更容易受到低濃度雜質(zhì)的影響。在半導(dǎo)體工業(yè)中，硝酸（HNO3）被廣泛用來與氫氟酸（HF）配制混酸，改變限擴散或限速率的蝕刻。這兩種酸配成的混酸常被用于蝕刻和在前端處理中暴露臨界層。在這一階段，實際的設(shè)備（包括晶體管和電阻器）被創(chuàng)建。一個典型的前端處理主要包括以下幾個步驟：晶片表面的制備、二氧化硅（SiO2）的增長、模式化和后續(xù)注入或擴散添加劑以獲得所需的電性能、柵介質(zhì)的增長或沉積，以及蝕刻。任何金屬雜質(zhì)的存在都將對IC器件的可靠性產(chǎn)生不利影響2025
03-12NexION 300S ICP-MS測定半導(dǎo)體級硫酸中的雜質(zhì)
前言制造半導(dǎo)體器件包括在基板上形成一個犧牲層。通常，犧牲層由一個圖形化的光阻層組成，這樣就可以使離子注入基板，之后再用一種濕式蝕刻溶液來消除圖形化的光阻層。通常情況下，蝕刻液由硫酸（H2SO4）和過氧化氫（H2O2）配制而成，也被稱為食人魚或臭氧硫酸。由于是與其他化學(xué)物質(zhì)一起使用的，任何金屬雜質(zhì)的引入都將會對IC器件的可靠性產(chǎn)生不利影響，因此需要使用的硫酸具有高純度和高質(zhì)量。SEMI標(biāo)準(zhǔn)C44-0708對硫酸中的金屬污染物按元素和等級規(guī)定了最大允許濃度。由于具有快速測定各種工藝化學(xué)品中超痕量濃度2025
03-122025
03-11NexION 300S ICP-MS測定半導(dǎo)體 級TMAH中的雜質(zhì)
前言：四甲基氫氧化銨（TMAH）是一種廣泛用于半導(dǎo)體光刻工藝和液晶顯示器（LCD）生產(chǎn)中形成酸性光阻的基本溶劑。由于其在此類高要求應(yīng)用中的廣泛使用，使得對TMAH純度的檢測變得越來越重要。SEMI標(biāo)準(zhǔn)C46-03061規(guī)定濃度為25%的TMAH溶液中各元素污染物低于100ppb。然而，通常使用的都不是TMAH的濃溶液，實際上使用的TMAH溶液濃度絕大多數(shù)都在1-3%之間。由于具有快速測定各種工藝化學(xué)品中超痕量濃度（ng/L或萬億分之）待測元素的能力，電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）已成為了2025
03-10FT-IR自動分析系統(tǒng)測量硅晶圓中的元素雜質(zhì)
引言隨著半導(dǎo)體需求的增加，特別是消費電子產(chǎn)品、汽車以及日益增長的太陽能發(fā)電行業(yè)中硅器件的使用，硅晶圓的產(chǎn)量預(yù)計在未來幾年將出現(xiàn)高速增長。硅晶圓的生產(chǎn)目前采用了多種工藝，最常見的兩種是FloatZone（FZ）和Czochralski（CZ）工藝。FZ工藝可以生產(chǎn)高純度硅晶圓，而CZ工藝生產(chǎn)的晶圓相對來說含有更多的元素雜質(zhì)（特別是碳和氧）。然而，與FZ工藝相比，CZ工藝具有一些重要優(yōu)勢，如更好的熱應(yīng)力特性、制造速度更快、成本更低等。此外，氧雜質(zhì)的存在有一個好處，可起到吸氣劑的作用，可以去除微量金屬2025
03-07Avio 200 ICP-OES微波制樣方案滿足危害性物質(zhì) 限制（RoHS）指令要求
簡介隨著人們對電子產(chǎn)品的依賴程度越來越高，各大廠商開始不斷開發(fā)具有新功能的產(chǎn)品，這使得消費者日趨頻繁地對電子產(chǎn)品進行更新?lián)Q代，電子產(chǎn)品的壽命也變得越來越短，而這也導(dǎo)致需要處理的廢棄電子產(chǎn)品數(shù)量不斷上升，盡管人們已經(jīng)開始實施并大力推廣電子產(chǎn)品回收計劃。電子產(chǎn)品中包含許多組件，一旦被丟棄，產(chǎn)品中的金屬極可能會進入環(huán)境中。其中最令人擔(dān)憂的有毒金屬包括鎘（Cd）、鉻（Cr，主要是六價鉻[CrVI]）、汞（Hg）和鉛（Pb）。為了解決這一問題，危害性物質(zhì)限制（RoHS）指令規(guī)定了鎘、六價鉻、汞和鉛在每種電2025
03-062025
03-05利用TurboMatrix HS 進樣器分析變壓器油中的溶解氣體
世界上近90%的人不了解電力沒有普及的生。這是每天都被大多數(shù)人視為理所當(dāng)然的奢侈享受。當(dāng)供電中斷時，恐慌通常會接踵而至，正如2019年7月13日曼哈頓全城停電中所目睹的那樣，7.3萬多人因斷電數(shù)小時陷入黑暗中。盡管此次事件未有人員傷亡的報告，有許多關(guān)于此類大規(guī)模停電后造成混發(fā)生，變壓器必須亂和安全隱患的報道，尤其是發(fā)生在這樣一個大都會城市中。為防止此類電力中斷事件的妥當(dāng)維護和監(jiān)控。以減少停電發(fā)生為目標(biāo)進行常規(guī)監(jiān)控的有效手段包括對變壓器絕緣油進行分析。電力變壓器中的絕緣油的作用既可作為絕緣體又可作2025
03-05TGA 8000 熱重分析儀應(yīng)用領(lǐng)域與特點
TGA8000熱重分析儀典型應(yīng)用舉例?監(jiān)控環(huán)氧樹脂等材料的固化過程?粉末、凝膠以及低粘度材料直接測試?高聚物泡沫材料、面包、肉塊和糖果等天然高分子材料的測試?紙張、天然纖維和食品等濕度敏感材料的研究?增塑劑對尼龍和聚氨酯等材料玻璃化轉(zhuǎn)變過程的影響DMA8000使之成為材料研究開發(fā)和生產(chǎn)線質(zhì)量控制的的創(chuàng)新型設(shè)計，高效靈活的操作理想儀器。?自由旋轉(zhuǎn)的測試頭，可在任何合適的方位進行裝樣測試?降溫迅速且節(jié)省液氮消耗?可拓展流體浴配件?可選配濕度發(fā)生器?珀金埃爾默Pyris熱分析軟件系統(tǒng)，功能強大，使用方2025
03-042025
03-04LAMBDA850 近紅外分光光度計 +/1050+ 紫外/可見
LAMBDA™紫外分光品質(zhì)、可靠性和專業(yè)的應(yīng)用技術(shù)得到系列分光光度計以其高了世界范圍的廣泛認(rèn)可。1、先進的四區(qū)分段扇形信號收集的斬波器：即扇形信號校2、高靈敏度光電倍增管和Peltier半導(dǎo)體冷卻Pbs檢測器3、最小有效檢測波長低至175nm,振、自動多角度透射反射可配置自動偏附件，實現(xiàn)深紫外區(qū)至近紅外區(qū)的多角度自動光學(xué)性能檢測4、安全加強版（ES的UVWinLab技術(shù)規(guī)范軟件集成了21章第11款（FDA21CFRPart11足相關(guān)受管制行業(yè)的需要）法規(guī)要求?化妝品和防曬產(chǎn)品中防曬因子分析?平板2025
03-032025
02-27LAMBDA 750紫外可見分光光度計特點與應(yīng)用
作為長期以來分光光度計的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，LAMBDA750使用高靈敏PMT檢測器和Peltier冷卻PbS檢測器，在整個光譜范圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測試性能，最大波長可達3300nm。該儀器還可以配備一系列行業(yè)可控而且靈活的采樣附件，包括：大體積雙樣品艙、通用反射附件、插入式積分球以及萬能光學(xué)平臺。分光光度計典型應(yīng)用舉例：?對建筑和特殊用途玻璃進行光譜分析，提供熱效率和其他關(guān)鍵設(shè)計參數(shù)?完整表征平板顯示器的光學(xué)性能?采樣靈活性幫助繁忙的光學(xué)實驗室應(yīng)對千變?nèi)f化的測試需求?近紅外波段測試能力可對太陽能電池、壓花玻2025
02-26OilExpress 4油品狀況監(jiān)測系統(tǒng)特點介紹
OilExpress™4采用ASTM®、JOAP油品狀況監(jiān)測系統(tǒng)和Caterpillar®S?O?了高度自動化快速分析和可靠的油SSM等的業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)，確保品狀況監(jiān)測結(jié)果。1、樣品分析通量更高，自動進樣，自動分析，每小時的樣品分析數(shù)可達100個2、注射加樣系統(tǒng)，一次性采樣針頭，避免交叉污染3、智能流路控制，搭配全新設(shè)計的真空樣品分配器，適合不同粘度的油品樣本4、減少溶劑消耗，一次分析只需750μl樣品和生量降幅可達3mL溶劑，溶劑用量以及廢棄物產(chǎn)80%5、每年使用珀金埃爾默OilExpress設(shè)備分2025
02-25Spectrum Two FT-IR 紅外光譜儀特點與應(yīng)用舉例
操作簡便、功能強大、結(jié)構(gòu)緊湊、堅實耐用?SpectrumTwoTM紅外光譜能夠在任意地方為每一個人所輕松使用。1、儀器光學(xué)設(shè)計實現(xiàn)了全新的突破，采用無需維護的光學(xué)系統(tǒng)，同時使用經(jīng)證明長期有效無動態(tài)錯誤的干涉儀設(shè)計，確保了可靠性2、提供多種電源方案供選配，無論是否具有外部主電源，都能夠正常工作；同時，還可使用無線連接通過便攜式PC進行控3、可配置高度流程化觸控軟件，搭配潤滑油成分分析、脂肪酸甲酯分析等應(yīng)用方案包，無需紅外應(yīng)用經(jīng)驗，軟件“一鍵”操作，直接得到分析結(jié)果并出具檢測報告典型應(yīng)用舉例?藥物、2025
02-24掃一掃訪問手機商鋪
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