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中科儀北交所IPO申請獲受理 擬募資擴(kuò)產(chǎn)半導(dǎo)體核心設(shè)備
2025年07月17日 14:22:51
來源：化工儀器網(wǎng) 作者：宋池 點(diǎn)擊量：222
中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司（中科儀）北交所IPO申請獲受理。本次IPO擬募資8.52億元，主要用于干泵擴(kuò)產(chǎn)、高端半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)中心建設(shè)及新一代產(chǎn)品研發(fā)。
北京證券交易所于6月30日正式受理了中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司(簡稱：中科儀)的首次公開發(fā)行股票并上市的申請。
中科儀是中國領(lǐng)先的干式真空泵及真空科學(xué)儀器設(shè)備供應(yīng)商，主營業(yè)務(wù)為干式真空泵和真空科學(xué)儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及相關(guān)技術(shù)服務(wù)。其核心產(chǎn)品干式真空泵是集成電路晶圓制造及光伏電池等泛半導(dǎo)體生產(chǎn)中的關(guān)鍵設(shè)備，長期由歐美及日本企業(yè)主導(dǎo)。中科儀通過自主研發(fā)實(shí)現(xiàn)了技術(shù)突破。
在干式真空泵領(lǐng)域，中科儀的產(chǎn)品滿足14nm先進(jìn)邏輯芯片及128層及以上3D NAND存儲器的工藝要求，并在國內(nèi)先進(jìn)制程領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)批量應(yīng)用。公司已服務(wù)于中芯國際、長江存儲、華虹集團(tuán)、長鑫存儲、華潤微、上海積塔、廣州粵芯等國內(nèi)主流晶圓制造企業(yè)，以及北方華創(chuàng)、拓荊科技等半導(dǎo)體設(shè)備廠商。其產(chǎn)品已通過臺積電、大連英特爾、SK海力士的測試驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)小批量出貨。除硅基半導(dǎo)體外，產(chǎn)品在碳化硅、砷化鎵等化合物半導(dǎo)體制備中也實(shí)現(xiàn)批量交付。
在真空科學(xué)儀器設(shè)備領(lǐng)域，中科儀深度參與國家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)，先后承擔(dān)了包括北京正負(fù)電子對撞機(jī)、上海光源、北京高能同步輻射光源等在內(nèi)的11項國家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施的關(guān)鍵真空部件研制工作，是光束線、波蕩器、前端區(qū)等核心部件的最主要研制單位。其前身成功研制了國產(chǎn)分子束外延設(shè)備(MBE)，打破了國外長期禁運(yùn)。
財務(wù)數(shù)據(jù)顯示，中科儀近年來業(yè)績持續(xù)增長。2022至2024年，公司營業(yè)收入分別為6.98億元、8.52億元和10.82億元；對應(yīng)的凈利潤分別為4.98億元、6億元和1.93億元。
此次IPO，中科儀計劃募集資金8.52億元，主要用于三個項目：
干式真空泵產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項目擬使用募集資金2.31億元，建設(shè)期4年。該項目旨在通過新建廠房、購置高端生產(chǎn)設(shè)備、建設(shè)智能化產(chǎn)線，顯著提升干式真空泵的產(chǎn)能，最終形成年產(chǎn)20,040臺的生產(chǎn)能力。項目將大幅提升加工產(chǎn)線的自動化及智能化水平，目標(biāo)自動化率超過90%。公司指出，在集成電路晶圓制造生產(chǎn)線中，約70%的專用裝備需要在真空工藝環(huán)境下生產(chǎn)組裝，干式真空泵因其環(huán)保、高效、清潔無油及耐腐蝕的特性，成為該行業(yè)的首選真空獲得設(shè)備。目前項目已完成土地購置、部分廠房及產(chǎn)線建設(shè)以及部分設(shè)備購置。
高端半導(dǎo)體設(shè)備擴(kuò)產(chǎn)及研發(fā)中心建設(shè)項目擬使用募集資金4.74億元。該項目將建設(shè)高端半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)、研發(fā)及配套設(shè)施，引入自動化生產(chǎn)設(shè)備和先進(jìn)的研發(fā)測試儀器。主要目標(biāo)是擴(kuò)大H系列干式真空泵的產(chǎn)能，該系列產(chǎn)品是集成電路設(shè)備(如刻蝕、PVD、CVD工藝)中的重要配套設(shè)備，也可應(yīng)用于泛半導(dǎo)體領(lǐng)域。同時，項目也將擴(kuò)產(chǎn)少量主要用于科研、工業(yè)、醫(yī)藥等領(lǐng)域的渦旋泵。
新一代干式真空泵及大抽速干式螺桿泵研發(fā)項目擬使用募集資金1.21億元，建設(shè)期3年。該項目將研發(fā)面向半導(dǎo)體領(lǐng)域的超高速節(jié)能泵、超高溫泵等新一代干式真空泵產(chǎn)品，同時面向泛半導(dǎo)體、工業(yè)真空、儀器制造、科學(xué)研究等更廣闊市場，開發(fā)大抽速干式螺桿真空泵及羅茨螺桿真空泵機(jī)組。項目還將建設(shè)數(shù)字化管理平臺，以支撐未來的研發(fā)與業(yè)務(wù)發(fā)展。
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