中國儀器進出口集團有限公司受招標人委托對下列產(chǎn)品及服務進行國際公開競爭性招標，于2024-05-11在中國國際招標網(wǎng)公告。本次招標采用傳統(tǒng)招標方式，現(xiàn)邀請合格投標人參加投標。
 

　　1、招標條件
 

　　項目概況:設備名稱：離子束刻蝕機
 

　　設備數(shù)量：1臺
 

　　設備用途：主要用于8英寸MEMS工藝中的金屬膜層(Au、Ti)的刻蝕加工。
 

　　資金到位或資金來源落實情況:資金已到位
 

　　項目已具備招標條件的說明:已具備
 

　　2、招標內(nèi)容
 

　　招標項目編號:0709-244035614023
 

　　招標項目名稱:8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之離子束刻蝕機(重新招標)
 

　　項目實施地點:中國安徽省
 

　　招標產(chǎn)品列表(主要設備):

序號	產(chǎn)品名稱	數(shù)量	簡要技術規(guī)格	備注
1	離子束刻蝕機	1套	*刻蝕工藝腔 要求腔室內(nèi)部安裝有易拆卸替換的專用內(nèi)襯板、柵網(wǎng)、觀察窗、石英放電腔等，可實現(xiàn)設備真空腔室的快速清理和維護，要求設備配備兩套內(nèi)襯板，兩套柵網(wǎng)，兩套石英放電腔、兩套觀察窗、兩套中和器，一套在用，一套備用；工藝腔室為模塊化平臺構造，包含氣體氣路、腔室本體、ESC下電極、電源分配模塊接口、傳送腔體接口等；對于刻蝕窗口暴露面積超過10%的晶圓，具備終點檢測抓取能力。 對于厚度300μm～1100μm的8英寸晶圓片，金（Au）薄膜刻蝕應滿足以下指標： *（1）金（Au）刻蝕速率≥800？/min；

　　3、投標人資格要求
 

　　投標人應具備的資格或業(yè)績:(1)投標人是響應招標、已在招標人或招標機構處領購招標文件并參加投標競爭的法人或其他組織。任何未在招標人或招標機構處領購招標文件的法人或其他組織均不得參加投標。
 

　　(2)凡是來自中華人民共和國或是與中華人民共和國有正常貿(mào)易往來的國家或地區(qū)的法人或其他組織均可投標。
 

　　(3)與招標人存在利害關系可能影響招標公正性的法人或其他組織不得參加投標。
 

　　(4)接受委托參與項目前期咨詢和招標文件編制的法人或其他組織不得參加受托項目的投標，也不得為該項目的投標人編制投標文件或者提供咨詢。
 

　　(5)單位負責人為同一人或者存在控股、管理關系的不同單位，不得參加同一招標項目包投標。
 

　　(6)只有在法律上和財務上獨立、合法運作并獨立于招標人和招標機構的供貨人才能參加投標。
 

　　(7)投標人須提供開戶銀行在開標日前三個月內(nèi)開具的資信證明原件或復印件。
 

　　(8)境內(nèi)投標人還應具備良好商業(yè)信譽和財務狀況，并能夠提供營業(yè)執(zhí)照、依法繳納稅收和社會保障資金證明等材料，不得存在下列情形之一：
 

　?、偈疟粓?zhí)行人；
 

　?、诒回熈钔I(yè)或進入破產(chǎn)程序的；
 

　　③財產(chǎn)被接管、凍結且影響項目履約的；
 

　　④近三年內(nèi)有被相關行政監(jiān)督部門判定并發(fā)布騙取中標的或取消投標資格的；
 

　?、菪杼峁┙陜?nèi)經(jīng)營活動中無重大違法記錄的書面聲明，并未被“國家企業(yè)信用信息公示系統(tǒng)”網(wǎng)站“列為嚴重違法失信名單”。
 

　　(9)境內(nèi)投標人須提供經(jīng)會計師事務所審計的2022年度財務審計報告復印件(財務審計報告應當體現(xiàn)投標人(被審計單位)名稱、會計師事務所(審計單位)名稱、符合招標文件要求的審計年度并提供經(jīng)審計的財務報表)；境外投標人須提供符合招標文件要求的財務報表。
 

　　(10)本項目接受代理商投標。如果投標人所投的貨物不是投標人自己制造的，投標人須提供制造商同意其在本次投標中提供該貨物的正式授權書(不含轉授權)。同一品牌的制造商只能委托一家代理商參與本項目投標。同一品牌的制造商和代理商不能同時參加本項目的投標。
 

　　(11)投標人可以是設備制造廠家或設備授權代理商，代理商需有設備原廠家的有效授權書；并且具有設備技術支持和服務能力。
 

　　(12)投標人可以是設備制造廠家或設備再制造廠商，也可以是設備授權代理商，代理商需有設備原廠家的有效授權書；并且具有設備技術支持和服務能力。要求2020年至今同類型設備出貨量與驗收數(shù)量大于10臺，國產(chǎn)設備與再制造廠商提供合同和驗收材料，進口全新設備出具蓋章的業(yè)績說明材料。
 

　　(13)試樣要求：招標人有權利依次對滿足標書要求的設備進行樣品試制，試制樣品須滿足本標書第三條(主要技術指標)中樣品試制要求。招標方提供樣片給投標方，投標方使用參與投標的同型號設備，測試過程由招標方進行現(xiàn)場監(jiān)督，招標方按照試制樣品驗收指標要求進行工藝測試，測試完成后提交招標方檢測評估，檢測評估合格，投標方才具備投標資格。
 

　　是否接受聯(lián)合體投標:不接受
 

　　未領購招標文件是否可以參加投標:不可以
 

　　4、招標文件的獲取
 

　　招標文件領購開始時間:2024-05-11
 

　　招標文件領購結束時間:2024-05-17
 

　　是否在線售賣標書:否
 

　　獲取招標文件方式:現(xiàn)場領購
 

　　招標文件領購地點：https://bid.cnic.com.cn
 

　　招標文件售價:￥1500/$210
 

　　5、投標文件的遞交
 

　　投標截止時間(開標時間):2024-05-31 09:30
 

　　投標文件送達地點:北京市西城區(qū)北三環(huán)中路25號英斯泰克大廈5層會議室
 

　　開標地點:北京市西城區(qū)北三環(huán)中路25號英斯泰克大廈5層會議室
 

　　6、聯(lián)系方式
 

　　招標人:安徽華鑫微納集成電路有限公司
 

　　地址:安徽省蚌埠市東海大道888號
 

　　聯(lián)系人:陳老師
 

　　聯(lián)系方式:13906020315
 

　　招標代理機構:中國儀器進出口集團有限公司
 

　　地址:北京市豐臺區(qū)西營街1號院1區(qū)1號樓15層、16層、17層
 

　　聯(lián)系人:陶宇