磨削頭

• Z軸驅(qū)動，可調(diào)節(jié)角度

•可調(diào)節(jié)劃線力從3gr到50gr; 恒重

•金剛石工具：可調(diào)節(jié)角度和旋轉(zhuǎn)

•刀具偏置，十字準(zhǔn)線

晶圓

•晶圓片直徑3''

•晶粒尺寸：小200μm，方形大10mmx10mm

•晶圓厚度：100μm及以上 

•手動旋轉(zhuǎn)90度 

•通過微米螺絲旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)  

•X Y軸/分辨率1μm  

•通過漸進(jìn)式操縱桿控制運動

視覺系統(tǒng)

•光學(xué)放大倍率（1至4倍），與其他應(yīng)用兼容

•校準(zhǔn)：可編程區(qū)域/手動

•TFT監(jiān)視器17'和CCD彩色高清攝像機(jī)

•目標(biāo)發(fā)生器

•LED照明

斷路器

•斷路模式：操作員控制或自動

•斷開模式：使用頂部聚脂薄膜表面和底部切割器

•聚酯薄膜：可清除以避免污染

•目標(biāo)發(fā)生器

•LED照明

參數(shù)

•步驟指數(shù)

•Y劃線速度從0.1至20 mm / sec

•劃線長度可編程

•重復(fù)劃線

•劃線數(shù)量

•元件編號

•觸地速度

•切割速度

技術(shù)規(guī)格

功率：100 / 230VAC，500watt

氣壓：70psi

真空：60％

尺寸：650x700x500mm（26''x28''x20''）

重量：70kgr。