CIF透射電鏡樣品桿清洗機
CIF透射電鏡（TEM）樣品桿清洗機采用雙等離子清洗源設計，自動切換，一機多用，清洗快速高效、低等離子體轟擊損傷，同時可實現常規(guī)等離子清洗。核心部件采用品牌，保證設備優(yōu)異的質量和穩(wěn)定性。主要用于TEM透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏用途。
產品特點
雙等離子清洗源
遠程清洗、檢漏兩用
快速高效
即插即用
技術參數
產品型號 | CIF-TEM |
真空泵 | Agilent 、IDP-3渦輪式真空干泵 |
大入口壓力1.0個大氣壓（0psig），大出口壓力1.4個大氣壓（6.5psig） | |
抽速60L/min，極限真空3.3 x 10-1 mbar | |
KF16入口接口 | |
等離子電源 | 兩種等離子體清洗源，原位等離子源和遠程等離子源，自動匹配器 |
13.56MHz等離子RF電源，5-100W可調 | |
清洗室 | 清洗室尺寸(長X寬X高)150X150X150mm |
多可放置3路TEM hoder，可清洗FEI、JOEL等TEM品牌樣品桿 | |
氣體控制 | 美國MKS數字真空計 |
兩路清洗氣體控制，可以外接如Ar或O2等清洗氣體 | |
控制方式 | 7寸全彩觸摸屏操控方式，人機互動界面 |
冷卻方式 | 風冷 |
電源 | 電源220V、50/60Hz |
質量保證 | 二年免費，終身維護 |
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