半導(dǎo)體芯片測(cè)試?yán)渌畽C(jī)簡(jiǎn)介：

半導(dǎo)體芯片測(cè)試?yán)渌畽C(jī)主要由制冷系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷，循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過(guò)機(jī)組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿(mǎn)足工藝條件要求。

設(shè)備特點(diǎn)：

1.超高溫降溫技術(shù)：采用超高溫降溫技術(shù)，可以滿(mǎn)足在最高300℃高溫直接開(kāi)啟壓縮機(jī)制冷降溫。

2.控制重復(fù)性：基于高級(jí)動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，每次都能實(shí)現(xiàn)一致的控制結(jié)果，大大提升產(chǎn)品生產(chǎn)的穩(wěn)定性。

3.質(zhì)量保障：所有的關(guān)鍵部件均選用進(jìn)口品牌，確保產(chǎn)品長(zhǎng)時(shí)間可靠運(yùn)行。同時(shí)所有產(chǎn)品發(fā)貨前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格測(cè)試與檢驗(yàn)，確保設(shè)備到客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)不會(huì)出現(xiàn)任何問(wèn)題。

4.產(chǎn)品外觀(guān)：外觀(guān)設(shè)計(jì)吸取國(guó)外進(jìn)口產(chǎn)品的設(shè)計(jì)理念，采用大口徑石英玻璃液位計(jì)，液位計(jì)與操作屏放在同一側(cè)，觀(guān)察方便，風(fēng)格簡(jiǎn)約時(shí)尚，比列協(xié)調(diào)，專(zhuān)有的色彩搭配。

5.全密閉系統(tǒng)：采用全密閉式系統(tǒng)設(shè)計(jì)，整個(gè)循環(huán)管路只有加液蓋上留出的呼吸孔，導(dǎo)熱油不會(huì)直接與空氣接觸，延長(zhǎng)了導(dǎo)熱油使用壽命同時(shí)確保系統(tǒng)運(yùn)行的穩(wěn)定性，膨脹油箱始終保持在常溫狀態(tài)，高溫時(shí)無(wú)油霧產(chǎn)生，低溫不會(huì)結(jié)霜。

6.控溫系統(tǒng)：自主開(kāi)發(fā)的溫度控制模塊，改變控制設(shè)定的方法，能夠盡快的響應(yīng)過(guò)程中系統(tǒng)的滯后，得到最小的溫度過(guò)沖?？刂朴蓛山MPID(每組PID是可變的)控制回路構(gòu)成，這兩組控制回路成為主回路和從回路，主回路的控制輸出作為從回路的設(shè)定值。系統(tǒng)采用帶有前饋PV，主控回路的PID運(yùn)行結(jié)果的輸出與前饋PV信號(hào)復(fù)合后作為主控回路的設(shè)定值，通過(guò)這樣對(duì)溫度變化進(jìn)行梯度控制，保證系統(tǒng)的溫度精度。

7.高效換熱系統(tǒng)：系統(tǒng)采用管道式加熱冷卻，參與循環(huán)的液體非常少，制冷采用板式換熱器，換熱效率高、結(jié)構(gòu)緊湊，加熱采用管道式法蘭加熱器，整個(gè)系統(tǒng)的容積(板式換熱器容積+管道式加熱器容積+循環(huán)泵內(nèi)容積+循環(huán)管路容積)。