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1.通過控制面板設(shè)定和觀察氣化模塊升溫溫度;
2.儲(chǔ)罐中的去離子水,通過恒流泵加入精密蒸發(fā)器中,去離子水得流量連續(xù)可調(diào);
3.精密蒸發(fā)器將液態(tài)水99%蒸發(fā),并且保證蒸汽流量波動(dòng)小于2%;
4.過熱蒸汽通過SUS316L管道通入流量控制器(選配)中,將高溫水蒸氣穩(wěn)定輸送到位置




?使用環(huán)境:0~50℃ ,0~80%RH
?進(jìn)氣要求:壓力>0.1Mpa(無雜質(zhì))
?進(jìn)水要求:蒸餾水或去離子水(超純水)

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