標(biāo)準(zhǔn)探針臺/DCH系列高低溫真空探針臺

產(chǎn)品概要
DCH系列高低溫真空探針臺是我司自主研發(fā)的一款在特殊環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號的設(shè)備。可以實(shí)現(xiàn)器件及材料表征的IV/CV特性測試,射頻測試,光電測試等。通過液氮或者壓縮機(jī)制冷,可以在防輻射屏內(nèi)營造一個穩(wěn)定的測試環(huán)境。在特殊材料,半導(dǎo)體器件等研究方向具有廣泛運(yùn)用。極低溫測試:因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測試時,空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上,會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
高溫?zé)o氧化測試:當(dāng)晶圓加熱至300°℃,400°C,500℃甚至更高溫度時,氧化現(xiàn)象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
技術(shù)特點(diǎn)
防輻射屏和熱沉設(shè)計(jì);
降溫速度快,常溫降至 77k<25mins,大大提高測試效率;

液氮自動控制系統(tǒng),液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯(lián)動共同控制溫度。