微波等離子體發(fā)生器功率范圍在10W和250W之間的特殊2.45GHz發(fā)生器。
這些PlasMaster指ding的發(fā)生器輸出所需的微波功率，并測量未被等離子體射流吸收的功率。兩者，點火和操作之間的特殊切換，以及鎖定等離子體的樶佳能量支持，都受到全球**保護。除了目前的6個可插入式噴嘴外，這種特殊的發(fā)生器還可用于低壓室的CC耦合器。
微波等離子體發(fā)生器特點
純半導體技術中的集成測量和控制電子設備，可在十分之一毫秒范圍內(nèi)調(diào)整等離子體變量
控制電子設備包括測量等離子體電阻的測量技術
經(jīng)濟高效的技術，免維護，無磨損
緊湊的設計和樶佳的觸發(fā)
集成保護電路，擴展到短路電阻和溫度關閉電路
集成顯示屏上顯示四個變量：
工作頻率
發(fā)射的微波功率
等離子體射流反射的微波功率
等離子體射流吸收的微波功率。
除了操作元件和狀態(tài)LED，發(fā)生器還具有用于自動開啟和關閉等離子體的觸發(fā)輸入。