等離子體監(jiān)控系統(tǒng)采用等離子體光譜儀器制造離子體監(jiān)測系統(tǒng)，適用于等離子體技術(shù)的幾乎任何應(yīng)用，包括等離子體分析、等離子體監(jiān)測和工藝you化。滿足生產(chǎn)線等離子體工藝的整體過程控制和質(zhì)量保證。

等離子體監(jiān)控系統(tǒng)特點

廣泛的測量數(shù)據(jù)采集

等離子體發(fā)射模塊與光纖光譜儀一起工作以高速連續(xù)采集從UV到NIR的等離子體光發(fā)射的光譜。這個HIPIMS/Pulse模塊允許對MHz范圍內(nèi)的電壓信號和層進行觸發(fā)采樣控制模塊獲取生長薄膜的反射光譜和/或透射光譜。此外，信號輔助傳感器可以通過模擬電壓輸入輸入。

實時監(jiān)控等離子體過程參數(shù)

從所獲取的發(fā)射數(shù)據(jù)中，可以選擇任意數(shù)量的等離子體線，持續(xù)監(jiān)控等離子體條件和成分。HIPIMS/Pulse模塊提供電壓以及來自脈沖切片的電流值，例如HIPIMS過程的峰值電流。這個層控制模塊基于寬帶光譜擬合來計算膜厚度，或者相對于標(biāo)準(zhǔn)顏色空間的顏色值。從模塊獲取的所有數(shù)據(jù)實時導(dǎo)出，并且可以作為時間的函數(shù)顯示為所謂的監(jiān)視器軌跡從而實時提供過程狀態(tài)的全面畫面。

等離子體測量儀典型應(yīng)用：過程監(jiān)控，探測等離子體蝕刻終點，等離子體污染和泄露，

等離子體監(jiān)控系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)

工作類型：fieldbus 系統(tǒng)集成，實時過程監(jiān)控

光譜傳感器：200-1100nm

光譜通道：8個

光譜分辨率：1.5nm

動態(tài)范圍：16bit

時間分辨率：1ms

采樣時間：250us~分鐘

數(shù)據(jù)存儲：發(fā)射光譜，脈沖曲線,光譜層,信號傳感器