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簡(jiǎn)單介紹:
防腐蝕勻膠機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。工作時(shí)利用真空吸附的方式將樣品固定在載樣盤(pán)上,該設(shè)備可存儲(chǔ)12組程序,每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段。不同運(yùn)行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同,使設(shè)備緩慢提升速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,且不會(huì)過(guò)多浪費(fèi),節(jié)約材料。腔室的上蓋可以對(duì)樣品進(jìn)行加熱,有利于粘度大的薄膜材料的涂覆過(guò)程的進(jìn)行。具有操作簡(jiǎn)單、清理方便,體積小巧等優(yōu)點(diǎn),主要應(yīng)用于個(gè)大專(zhuān)院校、科研所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過(guò)程。
防腐蝕勻膠機(jī)主要特點(diǎn):
1.表殼和旋轉(zhuǎn)盤(pán)由聚丙烯(PP)制成,可抵抗大部分腐蝕性溶液。
2.數(shù)字控制箱與旋涂機(jī)分開(kāi)。
3.標(biāo)配一個(gè)過(guò)濾器。它用于連接泵和涂布機(jī),以防止廢水流入泵。
4.標(biāo)配無(wú)油真空泵,低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái),防止飛片。
5.帶真空和蓋子開(kāi)關(guān)互鎖功能,確保操作穩(wěn)定。
6.內(nèi)腔直徑150mm,PP防腐真空吸盤(pán)Φ100mm,可處理碎片(小于1cm)至6英寸圓晶底物。
7.數(shù)字控制面板,帶有6個(gè)可編程段,可實(shí)現(xiàn)不同的旋轉(zhuǎn)時(shí)間和速度。
8.電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定,可以保證圖層厚度的一致性和均勻性。
技術(shù)參數(shù):
項(xiàng)目 | 明細(xì) | |
旋涂?jī)x | 供電電壓 | AC220V,50Hz |
轉(zhuǎn)速 | 0~10000rpm | |
加速度 | 100~5000rpm/s | |
轉(zhuǎn)速分辨率 | 1rpm | |
單步時(shí)間 | 3000s | |
基片尺寸 | 直徑≤8英寸(200mm) | |
腔體材質(zhì) | 聚四氟 | |
操作方式 | 7寸高清LCD觸控屏 | |
滴膠方式 | 手動(dòng)滴膠,可選購(gòu)精密注射泵 | |
勻膠曲線 | 每條曲線5段,共可儲(chǔ)存5條曲線 | |
抽氣接口 | φ8mm 快擰接口 | |
整機(jī)尺寸 | 290mm×365mm×310mm | |
整機(jī)重量 | 12kg | |
排氣系統(tǒng) | 真空泵 | 干式機(jī)械泵 |
抽氣速率 | 50L/min | |
供電電源 | AC220V 50/60Hz |
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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
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