詳情介紹：

在半導(dǎo)體工業(yè)中，硅是最基本的材料。智能型滑動(dòng)式快速退火爐可用于硅片的摻雜后的退火處理。例如，在通過(guò)離子注入向硅片中引入硼（B）、磷（P）等雜質(zhì)元素后，利用該退火爐能快速激活這些雜質(zhì)原子，修復(fù)離子注入過(guò)程中硅晶格所受到的損傷。這有助于形成所需的 P - N 結(jié)，而 P - N 結(jié)是幾乎所有半導(dǎo)體器件（如二極管、晶體管）的基本結(jié)構(gòu)單元。

像砷化鎵（GaAs）、氮化鎵（GaN）等化合物半導(dǎo)體材料，在光電子和高速電子器件領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。這種退火爐可以對(duì)它們進(jìn)行退火，改善材料的晶體質(zhì)量和電學(xué)性能。比如，對(duì)于 GaN 基的藍(lán)光發(fā)光二極管（LED）制造過(guò)程，退火能夠減少材料中的缺陷，提高 LED 的發(fā)光效率和壽命。