激光光束質(zhì)量分析儀 UV紫外/EUV極深紫外激光光束質(zhì)量分析儀可實(shí)現(xiàn)高分辨率實(shí)時(shí)空間光束的監(jiān)測(cè)、定量表征與強(qiáng)度分布。用于所有脈沖或連續(xù)波激光器以及非相干光源，覆蓋極寬的光譜范圍從近紅外到軟X射線（光譜范圍~ 1 …. 1100 nm），檢測(cè)器CCD芯片上量子轉(zhuǎn)換涂層保證了UV/EUV檢測(cè)的高靈敏度。

配置各種不同類(lèi)型的傳感器（大/小面積、高度、空間分辨率、靈敏度和動(dòng)態(tài)范圍）可適配多種測(cè)試應(yīng)用場(chǎng)景。軟件支持外圍器件（如自適應(yīng)鏡片、步進(jìn)馬達(dá)、衰減器、快門(mén)或者功率檢測(cè)等），實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程或者自動(dòng)測(cè)量。

別名：激光光束質(zhì)量分析儀、激光束分析儀、光束質(zhì)量分析儀、光束分析儀、光斑分析儀、光束形貌分析儀、激光束質(zhì)量分析儀

主要功能

       依據(jù)ISO11146 檢測(cè)光束參數(shù)

       依據(jù)ISO11670 指向穩(wěn)定性診斷

       依據(jù)ISO13694 分析光束形狀

       M2光束質(zhì)量因子分析

       脈沖 to 脈沖波動(dòng)檢測(cè)

       光束傳播和聚焦性能分析

       在線激光束檢測(cè)

       激光運(yùn)行參數(shù)優(yōu)化

Near‐field and far‐field profile of ArF excimer laser

(193nm), indicating 2nd moment beam widths

主要特點(diǎn)

       寬光譜范圍~ 1 …. 1100 nm (NIR, Vis, UV, EUV)

       小面積和大面積CCD傳感器可選

       USB3.0 or GigE通訊

       高動(dòng)態(tài)范圍（12/14Bit）

光束測(cè)試軟件

測(cè)試基于ISO標(biāo)準(zhǔn)