進(jìn)料泵-光刻膠-液態(tài)氟化氫HF-氫溴酸輸送
2025-07-26
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BM系列囊式計(jì)量泵是三為科學(xué)推出的一款耐腐蝕、全氟流路、高精度的化學(xué)計(jì)量泵,囊式計(jì)量泵與介質(zhì)接觸的材料為PFA、PTFE,流路不含金屬材料,同時(shí)無需軸封的設(shè)計(jì)可以防止液體泄露和外部氣體進(jìn)入。因此,囊式計(jì)量泵常被用于半導(dǎo)體、生命科學(xué)和化工領(lǐng)域苛刻物料的輸送,如:光刻膠、氫氟酸、液態(tài)氟化氫、氫溴酸、液氯、硫酸酐、發(fā)煙硫酸、發(fā)煙硝酸、丁基鋰、格氏試劑、濃硫酸、濃磷酸等。
產(chǎn)品特點(diǎn):
?流路接液部僅由氟樹脂構(gòu)成,可輸送強(qiáng)腐蝕酸堿鹽等各種藥液
?接液部無密封圈和滑動(dòng)結(jié)構(gòu),運(yùn)行不產(chǎn)生微顆粒,無密封圈泄露風(fēng)險(xiǎn)
?無外部氣體進(jìn)入,不易產(chǎn)生電解液結(jié)晶化結(jié)構(gòu)
?可輸送高粘度物料和微量氣體物料
?絲杠傳動(dòng),可實(shí)現(xiàn)高精度連續(xù)流流體輸送
產(chǎn)品用途:
?化工領(lǐng)域高粘度高濃度強(qiáng)腐蝕物料輸送
?半導(dǎo)體工序的光刻膠及高純電子化學(xué)品輸送
?鋰離子電池等電池制造工序的電解液輸送
?生物醫(yī)藥領(lǐng)域潔凈物料輸送
?其他液體化學(xué)品或液體物料的定量輸送
電動(dòng)風(fēng)囊泵產(chǎn)品參數(shù):
型號(hào) | BM-10 | BM-50 | BM-100 | BM-200 |
流量范圍 | 1.0-10.0ml/min | 1.0-50.0ml/min | 1.0-100.0ml/min | 1.0-200.0ml/min |
輸送粘度范圍 | 0-300cP | |||
增量 | 0.1ml/min | |||
流量準(zhǔn)確度 | ±1% | |||
壓力范圍 | ≤0.5MPa | |||
進(jìn)液管口徑 | φ6mm×φ4mm | |||
出液管口徑 | φ3.175mm×φ1.58mm | |||
流路材料 | PTFE、PFA、特種陶瓷 | |||
通訊功能 | USB、RS232、RS485;Modbus通訊協(xié)議 | |||
電源 | 85-264VAC,50Hz | |||
功率 | 20W | |||
重量 | 8kg | |||
外形尺寸 | 362×169×278mm3 |
上海三為科學(xué)儀器有限公司
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