OKANO岡野 T型真空計 NMT-2000-01

OKANO岡野 T型真空計 NMT-2000-01

真空計：窺探真空世界的精密“眼睛”

真空計，也被稱為真空規(guī)，是專門用于測量低于大氣壓（即真空環(huán)境）下氣體壓強的儀器。它是真空技術領域的核心傳感器，如同設備的“眼睛”，精確感知并量化真空腔體內(nèi)的稀薄氣體狀態(tài)。其測量范圍極其寬廣，跨越十幾個數(shù)量級（從接近大氣壓的 10^5 Pa 到超高真空的 10^{-12} Pa 以下），針對不同的壓強區(qū)間，需要采用基于不同物理原理的真空計。

真空計是探索和駕馭真空世界的基石。從簡單的機械式到精密的電容薄膜式和電離規(guī)，不同類型各司其職，共同覆蓋了從粗真空到真空的廣闊范圍。它們以其精確的測量能力、對過程控制的關鍵作用以及對產(chǎn)品質(zhì)量和安全運行的，深刻影響著半導體、材料科學、光學、航空航天、能源、醫(yī)療等眾多科技領域的發(fā)展。選擇合適的真空計并正確使用和維護，是確保真空系統(tǒng)高效、可靠運行的關鍵所在。

主要類型、工作原理與核心特點

真空計種類繁多，各具特色，適應不同需求：

機械式真空計 (如波登管式、薄膜式)：

原理： 利用氣體壓力引起的機械形變（如波登管彎曲、薄膜變形）并通過機械或電容方式檢測。

特點：

量程： 通常用于粗/低真空范圍（大氣壓 ~ 10^{-1} Pa）。

優(yōu)點： 結(jié)構(gòu)簡單、堅固耐用、成本相對較低、讀數(shù)穩(wěn)定、與氣體種類無關（絕對壓強計）。

缺點： 在較低壓力下靈敏度急劇下降，精度易受溫度影響，響應速度較慢。

熱傳導真空計 (如皮拉尼計)：

原理： 利用低壓下氣體熱傳導率隨壓強變化的特性。加熱電阻絲，其溫度（或電阻）隨周圍氣體壓強變化而變化。

特點：

量程： 覆蓋低至中真空范圍（10 ~ 10^{-3} Pa）。

優(yōu)點： 結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉、響應較快、無燈絲燒毀問題（相對于某些電離計）。

缺點： 測量結(jié)果強烈依賴氣體種類（需校準），在低氣壓區(qū)靈敏度低，精度受環(huán)境溫度影響，存在熱滯后效應。

產(chǎn)品規(guī)格