德國(guó) OEG MR200-半導(dǎo)體晶圓劃片機(jī)
2025-08-13
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晶圓劃片機(jī)是一種用于半導(dǎo)體制造的高精度設(shè)備，主要用于切割和分離晶圓上的單個(gè)芯片。晶圓劃片機(jī)是一種非常精密的設(shè)備，由于晶粒之間的距離很小且相當(dāng)脆弱，對(duì)切割精度要求非常高。
半導(dǎo)體晶圓劃片機(jī)MR 200 系統(tǒng)軟件的設(shè)置和硬件的配置能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的劃線，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)結(jié)構(gòu)化硅片的精準(zhǔn)切割。MR 200 是一款非常有力的工具，尤其在半導(dǎo)體技術(shù)的 SEM 樣品制備過(guò)程中極為重要。此外，MR 200 也適用于小批量芯片的切割分離，例如在實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用中。
半導(dǎo)體晶圓劃片機(jī)的機(jī)械基礎(chǔ)裝置提供了眾多可用于調(diào)整劃線參數(shù)的選項(xiàng)。高品質(zhì)的變焦光學(xué)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)從 8 倍到 40 倍放大倍率的連續(xù)無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)。光學(xué)和機(jī)械組件可以通過(guò)輔助模塊進(jìn)行擴(kuò)展，從而提升操作效率及人機(jī)交互舒適性。這樣的模塊包括攝像系統(tǒng)、圖像處理系統(tǒng)以及工作臺(tái)位移測(cè)量系統(tǒng)。
攝像系統(tǒng)：
這款高品質(zhì)的變焦顯微鏡能夠在標(biāo)本表面的概覽圖和細(xì)節(jié)圖之間實(shí)現(xiàn)無(wú)級(jí)切換。通過(guò) x/y 載物臺(tái)的微調(diào)，可以對(duì)標(biāo)本進(jìn)行高精度定位。劃線金剛石的起始點(diǎn)及工作角度是可以調(diào)整的，目鏡十字線用于標(biāo)記起始點(diǎn)。視頻系統(tǒng)可選配，配置此功能后，晶圓表面情況可以在PC的顯示器上進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察。
圖像處理系統(tǒng)：
高品質(zhì)的變焦光學(xué)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)從 8 倍到 40 倍放大倍率的連續(xù)無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)。
工作臺(tái)位移測(cè)量系統(tǒng)：
數(shù)字式位移測(cè)量裝置，適用于工作臺(tái)定位檢測(cè)，量程規(guī)格為100mm/200mm。測(cè)量?jī)x可實(shí)現(xiàn)晶圓臺(tái)在與劃片方向垂直方向上的高精度定位，其主要目的之一是精確地劃出網(wǎng)格。
數(shù)字式位移測(cè)量裝置，適用于工作臺(tái)定位檢測(cè)，量程規(guī)格為100mm
數(shù)字式位移測(cè)量裝置，適用于工作臺(tái)定位檢測(cè)，量程規(guī)格為200mm
技術(shù)參數(shù)：
| 主體 | 擠壓型材主體框架 |
| 尺寸（BxTxH） | (400×800×600) mm |
| 重量 | 20kg |
| 動(dòng)力系統(tǒng) | 電磁式劃線動(dòng)力系統(tǒng)（按需可切換為氣動(dòng)式劃線動(dòng)力系統(tǒng)，適用于高劃線壓力需求場(chǎng)景） |
| 劃線金剛石控制 | 腳踏開關(guān)控制（上/下） |
| 劃片力度 | 10g-120g可調(diào)（其他需求請(qǐng)咨詢） |
| 劃線槽寬度 | 5μm-10μm（取決于劃線力度和材料） |
| 刀頭速度 | 可調(diào) |
| 刀頭高度 | 可調(diào)，用于不同厚度的樣品 |
| 刀頭工作角度 | 可調(diào) |
| 劃線顆粒 | 通過(guò)真空抽取 |
| 顯微鏡 | 高質(zhì)量可變焦，可無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)，放大倍率8x-40x |
| 目鏡 | 帶有發(fā)絲十字刻線，根據(jù)邊緣、結(jié)構(gòu)特征及參考標(biāo)記等精準(zhǔn)劃線 |
| 光學(xué)系統(tǒng)分辨率 | 優(yōu)于10μm（10x放大倍率） |
| 晶圓夾具 | 鍍特氟龍涂層的真空托盤，安裝于X/Y樣品臺(tái)上，直徑200mm（可選100mm） |
| 晶圓夾具角度 | 通過(guò)螺旋測(cè)微儀對(duì)晶圓夾具角度微調(diào)，分辨率為10μm（0.006°） |
| 晶圓夾具旋轉(zhuǎn) | 配可調(diào)止動(dòng)裝置，可實(shí)現(xiàn)精確90°旋轉(zhuǎn)，無(wú)需關(guān)閉真空 |
| X-Y位移工作臺(tái) | 手動(dòng)，有效行程200x200mm，用于劃線和粗定位 |
| 25mm微米螺桿 | 用于垂直于劃線方向的精確定位 |
| 10mm微米螺桿 | 用于劃線方向的精確定位 |
| 光源 | LED環(huán)形燈，支持亮度調(diào)節(jié)并配電源 |
| 最小樣品尺寸 | 10x10mm |
| 晶圓厚度 | 所有標(biāo)準(zhǔn)厚度的硅晶圓 |
| 切割材質(zhì) | Si、GaAs（其他材質(zhì)可咨詢） |
| 視頻系統(tǒng) | 附帶圖像處理軟件，選配 |
光學(xué)系統(tǒng)：
高品質(zhì)的變焦光學(xué)系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)從8倍到40倍放大倍率的無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)，該顯微鏡有很多配件可供選擇，以實(shí)現(xiàn)更多功能。
可選配件：
1、數(shù)字式位移測(cè)量?jī)x：100mm/200mm
測(cè)量?jī)x可實(shí)現(xiàn)晶圓臺(tái)在與劃片方向垂直方向上的高精度定位，其主要目的之一是精確地劃出網(wǎng)格。
2、相機(jī)適配升級(jí)套件
CCD攝像機(jī)的升級(jí)套件包括相應(yīng)的顯微鏡組件。另外，還需要攝像機(jī)、顯示器或帶圖像處理軟件的電腦?？蛻艨梢赃x擇自定義方案，或使用OEG提供的攝像機(jī)、電腦及軟件。
3、彩色視頻系統(tǒng)
該選配包含一臺(tái)130萬(wàn)像素的彩色相機(jī)、一臺(tái)一體機(jī)電腦及圖像處理軟件，該軟件可將相機(jī)圖像顯示在屏幕上并支持保存圖像。
4、線寬測(cè)量
這款擴(kuò)展的圖像處理軟件可實(shí)現(xiàn)亞像素分辨率的高精度線寬測(cè)量。
精準(zhǔn)切割，操作方便：
將基片固定在卡盤上后，將顯微鏡對(duì)準(zhǔn)晶圓。通過(guò)手動(dòng)驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)沿X軸和Y軸移動(dòng)，可以將劃線調(diào)整到樣品上的參考標(biāo)記或結(jié)構(gòu)。高質(zhì)量的變焦顯微鏡能夠快速在樣品的概率圖和細(xì)節(jié)圖之間切換查看。通過(guò)X/Y工作臺(tái)微調(diào)，可以非常精準(zhǔn)地定位晶圓。劃線金剛石的接觸點(diǎn)可以通過(guò)目鏡或者顯示屏上的十字線來(lái)調(diào)整，并由腳踏開關(guān)控制升降，雙手可同時(shí)操作劃線運(yùn)動(dòng)。確定劃線位置后，用腳踏開關(guān)放下金剛石，手動(dòng)移動(dòng)卡盤，完成劃線。
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