電子級氫氟酸是半導(dǎo)體、集成電路、液晶顯示器（LCD）、太陽能電池等微電子行業(yè)中的關(guān)鍵化學(xué)品。它是一種超高純度的氫氟酸水溶液，用于：

清洗與刻蝕：清除晶圓表面的氧化物、金屬雜質(zhì)、有機污染物，并刻蝕硅、二氧化硅、氮化硅等材料。

拋光：改善晶圓表面平整度，提高器件性能。

調(diào)整摻雜：在一些工藝中用于調(diào)整硅片的摻雜濃度。

電子級氫氟酸的濃度須準(zhǔn)確控制，偏離目標(biāo)值會帶來嚴(yán)重問題：

濃度過高會導(dǎo)致過度刻蝕，造成器件尺寸偏差甚至損壞，還會腐蝕設(shè)備管道和容器，帶來安全隱患和經(jīng)濟損失，并增加高濃度HF廢液的處理難度，導(dǎo)致成本高昂。而濃度過低則會導(dǎo)致清洗效果差，無法有效去除污染物，影響器件性能，同時刻蝕速率慢，延長工藝時間，降低生產(chǎn)效率，導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量下降，甚至報廢，增加產(chǎn)品報廢率。

傳統(tǒng)的人工滴定、化學(xué)分析等檢測方法存在以下不足：

耗時費力：需要人工取樣、化驗，過程繁瑣。

滯后性：無法實時監(jiān)測濃度變化，容易造成偏差。

人為誤差：存在操作誤差，影響檢測精度。

安全性問題：人工接觸HF有安全風(fēng)險。

產(chǎn)品優(yōu)勢

CYR-E-HF-電子級氫氟酸濃度檢測儀采用分體式設(shè)計，有濃度傳感器和多功能主機組成，通過傳感器測量，多功能主機顯示及控制。

傳感器采用超純PFA/PTFE流通池結(jié)構(gòu)結(jié)合大面積藍(lán)寶石光學(xué)棱鏡，通過長期技術(shù)積累和攻關(guān)研發(fā)，解決了半導(dǎo)體行業(yè)濕電子化學(xué)品濃度在線測控類產(chǎn)品的“卡脖子”問題。

CYR-E-HF-電子級氫氟酸濃度檢測儀具有高精度、SEMIG5級、耐高溫、長壽命光源、光強自調(diào)節(jié)、恒溫探測器等特點。儀表無需樣品預(yù)處理，無需試劑耗材，秒量級的快速測量，讓企業(yè)實時掌握生產(chǎn)動態(tài)。在檢測過程中無機械動作，確保長期使用穩(wěn)定。儀表采用長達(dá)10萬小時的超長壽命光源，檢測過程無機械動作，確保長期穩(wěn)定運行，降低維護成本。全平面結(jié)構(gòu)的檢測棱鏡，避免藏污納垢。出廠校準(zhǔn)和自動溫度補償，讓您直接投入使用，無需繁瑣設(shè)置。還支持上位機通訊，4-20mA&RS485信號輸出、報警及控制等開關(guān)量信號輸出，支持?jǐn)?shù)據(jù)建模功能，可定制數(shù)據(jù)模型。

應(yīng)用場景

HF配液系統(tǒng)：實時監(jiān)測配液濃度，確保配液精度。

清洗槽：實時監(jiān)測清洗液濃度，控制清洗效果。

刻蝕槽：實時監(jiān)測刻蝕液濃度，控制刻蝕速率。

廢液處理系統(tǒng)：監(jiān)測廢液濃度，優(yōu)化處理工藝。

HF儲罐：監(jiān)測儲罐內(nèi)HF濃度，確保質(zhì)量。

技術(shù)參數(shù)