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聲學(xué)所供應(yīng)波紋管密封型壓電執(zhí)行器


波紋管密封型壓電執(zhí)行器由共燒型壓電陶瓷及其波紋管封裝膜片組成。產(chǎn)品位移大、響應(yīng)快、推力大、發(fā)熱很低、密封絕緣性好且循環(huán)壽命高,適用范圍廣,可用于集成電路制造、精密加工、細(xì)胞醫(yī)學(xué)、高精度成像的納米驅(qū)動(dòng)、定位和減震單元。

特性:

高可靠性;

精確的納米定位;

機(jī)械零損最小化;

工作溫度:-30°C-150°C;

最大可達(dá)3600N;

波紋管密封型壓電執(zhí)行器規(guī)格系列

規(guī)格型號(hào)

長(zhǎng)度

±0.1(mm)

靜態(tài)電容

±20%(uF)

電壓

V)

位移

±10%(μm

剛度

N/μm

推力

N)

JKZK50-11-F

48

4

120

50

18

900

JKZK60-11-F

64

5.8

120

60

14

900



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