| EMS 7620 迷你型離子濺射鍍膜儀EMS 7620 “Mini” Sputter Coater |
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| EMS 7620是一款緊湊、實惠型SEM離子濺射鍍膜儀，鍍碳附件EMS7620-CF作為可選件為鍍碳時所需。該款設備具備輝光放電功能，這對于TEM的碳膜或其它材料樣本表面修飾非常有幫助。
特征： - 價格實惠
- 操作簡單
- 磁控管濺射頭
- 結構堅實
- 碳絲蒸發(fā)可選
- 樣本臺高度可調(diào)
- 靶材更換簡便，金/鈀為標配靶材
- 符合的安全規(guī)程要求，具備主動電氣連鎖功能，確保操作安全
- 三年質保
規(guī)格參數(shù)： | 整機尺寸 | 340mm W x 130mm D x 250mm H （unpacked）不包括腔室 | | 現(xiàn)場條件： | | 電氣要求 | 240VAC - 13A, 頻率50Hz，額定功率250VA,真空泵的額定輸出是230V 、10A | | 濺射氣體 | 氬氣（零級），配有二級壓力調(diào)節(jié)器，工作氣體壓力在5-10psi | | 真空泵 | 真空壓力不低于10-2mbar ，流量50L/m 或 90L/m 的二級旋轉真空泵 | | 碳蒸發(fā)附件（可選） | EMS 7620-CF 碳蒸發(fā)附件與EMS7620可以配套使用 | | 貨號 | 產(chǎn)品 | 規(guī)格 | | EMS 7620 | EMS 7620 迷你型離子濺射鍍膜儀EMS 7620 “Mini” Sputter Coater 包含： 91017-AP gold/palladium （Au/Pd） target, 1m length of 12mm bore flexible vacuum hose, 1 x KF25 hose adapter flange and fittings to fit a rotary pump, 1 x rotary pump plug, comprehensive operating instructions | each | | 91017-Au | 金靶Gold （Au） target | each | | 91017-AP | 金鈀Gold/palladium （Au/Pd） target | each | | 91017-Pt | 鉑靶Platinum （Pt） target | each | | 91017-Ag | 銀靶Silver （Ag） target | each | | 91017-Pd | 鈀靶Palladium （Pd） target | each | | 91017-.2-Au | 金靶Gold target （Au） 0.2mm thick | each | | 91017-.2-AP | 金鈀Gold/palladium （Au/Pd） target 0.2mm thick | each | | 91017-.2-Pt | 鉑靶Platinum （Pt） target 0.2mm thick | each | | 91003 | 愛德華旋轉真空泵RV-3 two-stage rotary pump with oil mist filter （115/230V 50/60Hz） | each | | 96000 | Replacement oil mist filter | each | | 91040 | 碳蒸發(fā)附件（鍍碳時選用）Carbon evaporation attachment — EMS 7620 | each | | | |
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