Nanothi 100技術(shù)規(guī)格

可測(cè)薄膜

可測(cè)膜層 Oxide、Nitride、BPSG、PR、PI、Polymer、Polysilicon、ITO等
膜層結(jié)構(gòu) Oxide/Si、PR/Si、Nitride/Si、Polysilicon/Oxide/Si 等單、多層結(jié)構(gòu)
測(cè)量參數(shù) T，N，K，R
測(cè)量范圍 25nm - 20?m （Oxide/Si）

硬件規(guī)格

光譜范圍 400-800nm
物鏡倍率 4X 10X 40X
光斑尺寸 zui小30?m
機(jī)械分辨率 X：1?m， Y：1?m， Z：0.04?m

測(cè)量指標(biāo)
250?－2000? 2000?－20?m
準(zhǔn)確度 ±1％ ±1％
重復(fù)性（3б） 0.75? 0.05％
穩(wěn)定性（3б） 2.4? 0.25％
測(cè)量時(shí)間 單點(diǎn) < 3sec， 5點(diǎn) <30sec

*的光學(xué)測(cè)量技術(shù)

高精度、高重復(fù)性測(cè)量

穩(wěn)定、使用壽命長(zhǎng)且低成本的光源

高性能PDA

自動(dòng)調(diào)焦

三維全自動(dòng)機(jī)械平臺(tái)

貼近生產(chǎn)實(shí)際操作習(xí)慣的軟件系統(tǒng)，為測(cè)量提供快捷、方便易用的操作

數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確測(cè)量與實(shí)時(shí)評(píng)價(jià)


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