LAwave楊氏模量無損測量系統(tǒng)
- 公司名稱 北京匯德信科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 德國
- 廠商性質 經(jīng)銷商
- 更新時間 2016/9/27 11:04:01
- 訪問次數(shù) 607
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分子束外延系統(tǒng),脈沖激光沉積系統(tǒng),電子束光刻/聚焦離子束系統(tǒng),紫外光刻機,去膠機,寬頻介電阻抗譜儀,三維表面形貌儀,納米壓印模板,光刻膠等
LAwave楊氏模量無損測量系統(tǒng),技術源于德國Fraunhofer IWS研究所。利用激光脈沖在薄膜或材料表面激發(fā)起表面聲波,表面聲波在不同材料中的傳播速度不同,可以通過檢測表面聲波的波速實現(xiàn)對薄膜或者材料硬度(楊氏模量/彈性模量)、密度和膜厚的測量。
LAwave楊氏模量無損測量系統(tǒng)
表面聲波波速的色散關系由薄膜與襯底的彈性模量(楊氏模量)、密度和厚度決定。將聲波探測器探測聲波波速的色散關系與理論模型計算的色散關系對比,就可以得出薄膜的楊氏模量、密度和厚度等信息。也可以測量表面有微結構的薄膜和非均勻結構薄膜。
測量原理示意圖
主要特性:
- 無損測量薄膜的厚度可以從幾納米到幾百微米
- 檢測材料范圍廣,從聚合物到金剛石
- 操作簡單方便,測量速度快
- zui小檢測面積:5x5mm
- 可測量多孔薄膜,表面有微納結構的薄膜
- 認證測量結果
主要應用領域:
超薄超硬薄膜--防護評估
多孔聚合物薄膜--楊氏模量、密度優(yōu)化
熱噴涂涂層--空隙形態(tài)評估
半導體、LED、光伏產(chǎn)業(yè)晶圓片--亞表面損傷探測
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