BM-54X檢測大平臺工業(yè)顯微鏡配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、平場無限遠(yuǎn)長工作距離明暗物鏡、大視野目鏡、圖像清晰、襯度好。是針對半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)開發(fā)的，作為高級工業(yè)顯微鏡使用?？蛇M(jìn)行明暗場觀察、落射偏光、DIC觀察，廣泛用于工廠、研究機構(gòu)、高等院校對硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。

二、技術(shù)規(guī)格

1、觀察頭：30°鉸鏈?zhǔn)饺浚?0-75 mm）

2、目 鏡：WF10XΦ25mm；WF10X/Φ20mm ，帶0.1 mm十字分劃板

3、轉(zhuǎn)換器：帶DIC插孔明暗場五孔轉(zhuǎn)換器

4、物 鏡： 平場無限遠(yuǎn)長工作距離明暗場物鏡：

5.放大倍數(shù)：50X-600X （顯微鏡的總放大倍率：顯微鏡的總放大倍率=物鏡倍率×鏡筒系數(shù)倍率×目鏡倍率）

6、平臺：雙層移動平臺；平臺尺寸：350×310 mm、移動范圍：250×250 mm 。

7、濾色片：插板式濾色片（綠、藍(lán)、中性）

8、調(diào)焦范圍：30mm粗微動同軸調(diào)焦,采用鹵輪鹵條傳動機構(gòu)、 微動格值0.002mm

9、光源： 落射照明：帶孔徑光欄和視場光欄、鹵素?zé)?2V100W、AC85V-230V亮度可調(diào)節(jié)

10、偏光裝置：檢偏鏡可360°轉(zhuǎn)動，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路

11、檢測工具：0.01 mm測微尺