SGC-2 自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀
- 公司名稱 天津港東科技股份有限公司
- 品牌 港東科技
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2018/4/28 11:32:15
- 訪問(wèn)次數(shù) 860
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儀器特點(diǎn):
●儀器采用消光式橢圓偏振方式測(cè)量
●精度高、自動(dòng)控制
●光源采用氦氖激光,波長(zhǎng)精度高
●儀器采用USB接口與電腦連接
●配套軟件對(duì)采樣數(shù)據(jù)具有多種處理方式,適用于不同需要
●軟件有完整版及學(xué)生版兩種版本,適于教學(xué)要求
技術(shù)指標(biāo):
編號(hào) | 名稱 | 參數(shù) |
1 | 測(cè)量范圍 | 1nm~4000nm |
2 | 測(cè)量zui小值 | ≤1nm |
3 | 鍍膜折射率范圍 | 1.300~10.000 |
4 | 入射角 | 40°~90° 誤差≤0.05° |
5 | 偏振器方位角讀數(shù)范圍 | 0°~180° |
6 | 偏振器步進(jìn)角 | 0.0375°/步 |
7 | 測(cè)量精度 | ±0.5nm(10nm,±0.5nm) |
8 | 光學(xué)中心高度 | 75mm |
9 | 工作臺(tái)直徑 | φ10mm~φ120mm |
10 | 厚度 | ≤10mm |
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