PECVD/等離子增強化學氣相沉積系統(tǒng)

NANO-MASTER(那諾-馬斯特) PECVD系統(tǒng)能夠沉積高質量的SiO₂, Si₃N₄, 或DLC薄膜到zui大可達12” 直徑的基片上.該系統(tǒng)采用淋浴頭電極或中空陰極射頻等離子源來產生等離子，具有分形氣流分布的優(yōu)勢.樣品臺可以通過RF或脈沖DC產生偏壓。并可以支持加熱和循環(huán)冷卻水的冷卻.使用250l/sec渦輪分子泵及3.5 cfm的機械泵，腔體可以達到低至10^-7 torr的真空。標準配置包含1路惰性氣體、3路活性氣體管路和4個MFC.帶有*氣體分布系統(tǒng)的平面中空陰極等離子源使得系統(tǒng)可以滿足廣大范圍的要求，無論是等離子強度、均勻度，還是要分別激活某些活性組份，這樣系統(tǒng)可以覆蓋zui廣的可能性來獲得各種沉積參數(shù)。

產品特點：

• 不銹鋼或鋁制腔體
• 極限真空可達10-7Torr
• RF淋浴頭，HCD或微波等離子源可選
• 高達12”(300mm)直徑的樣品臺
• RF射頻偏壓樣品臺
• 水冷樣品臺
• 可加熱到800 °C樣品臺
• 加熱的氣體管路
• 加熱的液體傳送單元
• 抗腐蝕的渦輪分子泵組
• 1路載體氣體以及3路反應氣體，帶MFC
• zui大可支持8路MFC，帶排放箱及氣體閥組
• 預真空鎖及自動上下載腔門
• 氣動控制閥
• 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
• 菜單驅動，4級密碼訪問保護
• 完整的安全聯(lián)鎖

產品應用：

• 等離子誘導表面改性
• 等離子清洗
• 等離子聚合
• SiO₂, Si₃N₄, a-Si, DLC以及其它薄膜
• CNT選擇性生長

設備型號：

• NPE-4000：基于PC計算機全自動控制的獨立系統(tǒng)
• NPE-3500：基于PC計算機全自動控制的緊湊型獨立系統(tǒng)
• NPE-3000：基于PC計算機全自動控制的臺式系統(tǒng)
• NRP-4000：RIE/PECVD雙系統(tǒng)
• NSP-4000：濺射/PECVD雙系統(tǒng)