德國(guó)diener等離子表面處理設(shè)備特點(diǎn)：

1、等離子清洗機(jī)效果好，效率高，應(yīng)用范圍廣

2、對(duì)清洗樣品沒(méi)有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求

3、等離子清洗過(guò)程中升溫小，基本可達(dá)到常溫處理

4、射頻功率無(wú)極連續(xù)可調(diào)

5、高校的特質(zhì)電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證

6、特制電極和托盤結(jié)構(gòu)，可充分利用真空腔體內(nèi)部空間，使處理效率zui大化，同時(shí)也可得到全面有效的清洗

7、*的過(guò)載、短路和過(guò)熱保護(hù)電路，可保證射頻電源的穩(wěn)定和安全

8、設(shè)備整體模塊化設(shè)計(jì)，安裝與維護(hù)極為簡(jiǎn)單

Diener等離子清洗機(jī) Zepto 參數(shù)配置：

主要技術(shù)參數(shù)：
1. *半自動(dòng)控制
2. *根據(jù)工藝要求不同，可設(shè)定功率、壓強(qiáng)、氣體流量與時(shí)間等參數(shù)
3. 雙路工作氣體，氣體流量通過(guò)針型閥流量計(jì)控制
4. 反應(yīng)艙為高硼硅玻璃，Φ 211 mm、長(zhǎng) 300 mm，容積10.5L
5. 高周波電流頻率40KHz,功率0~200W
6. 反射波自動(dòng)調(diào)節(jié)，無(wú)須手工調(diào)節(jié)
7. 電極材質(zhì)為鋁/不銹鋼
8. 運(yùn)行模式為手動(dòng)
9. *時(shí)間控制計(jì)時(shí)器
10. 真空泵的排氣能力為3.0m3/Hour，Pfeiffer
11. *配有壓力傳感器，可根據(jù)工藝要求設(shè)定壓力值
12. 外尺寸：寬 525 mm、高 275 mm、深 450 mm
13. 電源電壓：?jiǎn)蜗郃C230V 16A

配置清單：
數(shù)量
備注
主機(jī)    ATTO    一臺(tái)   Diener
真空泵          一臺(tái)    pfeiffer

選配：
1、 真空腔體，石英材質(zhì)，圓柱形，直徑：211mm，長(zhǎng)300mm（可代替參數(shù)4）
2、 真空泵排氣能力為5.0m3/h，Pfeiffer(可代替參數(shù)10)