iH600 愛(ài)德華干式真空泵 iH600 維修
- 公司名稱 深圳市信仕德科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) iH600
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2016/1/19 11:05:20
- 訪問(wèn)次數(shù) 1565
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相,PN:A59020908
iH600 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相,PN:A59020945
iH600 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相,PN:A59020946
iH600 干式泵 230V,60 Hz,3 相,PN:A59020957
Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明,可以按照zui高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,同時(shí)zui大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
Edwards iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
應(yīng)用
負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
峰值速度: 600 m3h-1
353 cfm
10000 l min-1
極限真空: 7 x 10-4 mbar
5.3 x 10-4 Torr
0.07 Pa
典型軸封氮流量: 4 slm
進(jìn)氣口連接: ISO100
出口連接: NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量: 240 l h-1
4 l min-1
重量: 415 kg
極限功率輸入: 3.4 kW
電機(jī)額定功率: 6.1 kW
油容量: 1.43 l