KAMAN埃米級(jí)電渦流傳感器SMT9700在半導(dǎo)體晶片膜厚度控制中的應(yīng)用

KAMAN電渦流傳感器SMT9700硅晶片上的膜是通過化學(xué)氣相沉積（CVD）生成的。怎樣確保在晶片上形成均勻的化學(xué)層沉積呢？

KAMAN電渦流傳感器能靜態(tài)和動(dòng)態(tài)地非接觸、高線性度、高分辨力地測(cè)量被測(cè)金屬導(dǎo)體距探頭表面的距離。它是一種非接觸的線性化計(jì)量工具。電渦流傳感器能準(zhǔn)確測(cè)量被測(cè)體（必須是金屬導(dǎo)體）與探頭端面之間靜態(tài)和動(dòng)態(tài)的相對(duì)位移變化。

1 在渦流技術(shù)領(lǐng)域處于*的地位
2 在精確位置測(cè)量方面擁有超過40年的豐富經(jīng)驗(yàn)
3 產(chǎn)品眾多，可以根據(jù)用戶需要提供各種解決方案

解決方案

SMT-9700化學(xué)沉淀反應(yīng)開始之前，用KAMAN電渦流傳感器確保半導(dǎo)體晶片圓盤是平行于氣體分散噴頭（參見圖1）。當(dāng)然該傳感器是用于校驗(yàn)過的，量程在半導(dǎo)體晶片圓盤位置限定之內(nèi)。

KAMAN產(chǎn)品的特點(diǎn)：

·渦電流技術(shù)的*

·在位置測(cè)量領(lǐng)域有超過三十年的經(jīng)驗(yàn)

·標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品的規(guī)格非常齊全

·特制產(chǎn)品可滿足客戶個(gè)性化需求

·性能穩(wěn)定，可重復(fù)精度高

·可達(dá)到次納米的精度

·堅(jiān)固，可靠

KAMAN系統(tǒng)提供模擬輸出或可選的數(shù)字信號(hào)接口。如果半導(dǎo)體晶片圓盤是傾斜的，致動(dòng)器會(huì)根據(jù)KAMAN系統(tǒng)輸出的信號(hào)自動(dòng)調(diào)整到水平。

結(jié)果：能得到*并且均勻的沉積薄膜。

KAMAN電渦流傳感器SMT9700系統(tǒng)提供種類齊全的探頭以供選擇。

SMT9700電渦流傳感器尺寸小巧

埃米級(jí)分辨率

有1、2或3通道可配電渦流探頭

可配13種電渦流探頭

工作溫度：0～70oC(補(bǔ)償范圍15～55oC)

符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)

輸出負(fù)載電流<20mA(有短路和過載保護(hù))

供電電壓：15～30V，<50mA(有容錯(cuò)保護(hù)、短路保護(hù))