OAI INSTRUMENTS光功率計
- 公司名稱 上海連航機電科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地 美國
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2016/5/16 17:33:07
- 訪問次數 784
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OAI INSTRUMENTS光功率計
OAI INSTRUMENTS是業(yè)內生產可靠并精密設備的MEMS,半導體,納米技術,潔凈室自動化和紫外線光測量的優(yōu)秀制造商。OAI系統(tǒng)可同時用于研發(fā)和生產半導體,MEMS和微流體裝置。從光罩對準和UV光源UV電力儀表,OAI是在同行業(yè)中的者超過35年。OAI光功率計以其測量精度,重復性著稱,測量數據符合美國NIST標準,廣泛應用于半導體光刻能量測量及控制。
產品范圍:OAI INSTRUMENTS光功率計
美國OAI INSTRUMENTS曝光機、OAI INSTRUMENTS光刻機、OAI INSTRUMENTS光源、OAI INSTRUMENTS、OAI INSTRUMENTS光功率計、OAI INSTRUMENTS分析儀
主要型號:OAI INSTRUMENTS光功率計
Model 306、Model 308、Model 311、Model 316、Model 317、Model 356、Model 357、Model 358、Model 457、Model 458、Model 459
美國OAI INSTRUMENTS Model 800半自動光刻機簡介:
光刻方式:接近式,軟,硬,真空接觸式
曝光距離:0-3000μm
間隙調節(jié)步進:1um
機械精度:1.5um
光刻精度:軟接觸2um,硬接觸小于1um
美國OAI INSTRUMENTS Model 6000全自動光刻機技術規(guī)格:
光刻方式:接近式,軟,硬,真空接觸式
基底尺寸:2-12寸晶圓或者zui大200mm方形
曝光分辨率:
真空接觸:0.5-0.8um
硬接觸:0.8-1.0um
軟接觸:1.0-3.0um
接近式(20um 間隙):3.0um
曝光均勻性:優(yōu)于±3%
對準精度:頂面0.5um,底面1.0um(選件)
產量:180片/小時zui大
上海連航機電科技有限公司是國內專業(yè)的進口機電產品與技術集成服務商。公司專注于為中國工業(yè)企業(yè)供應進口備品備件,提供過程控制技術咨詢,工業(yè)自動化集成設計與改造,成套設備與技術引進等工業(yè)技術應用及產品供應服務??蛻魪V泛分布于全國各大地區(qū)與行業(yè),主要有:汽車制造、機械設備制造、電力、石化、采礦、鋼鐵、有色金屬、電氣儀表制造、食品飲料、橡膠制品、醫(yī)藥生產、造紙、紡織、印刷、水泥、玻璃、環(huán)境設備、軍工等。