維意真空高真空多源蒸發(fā)鍍膜機(jī)支持定制

EV-400高真空金屬有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)

真空腔室：前開門真空腔體，方便取放基片、更換鎢舟、添加蒸發(fā)材料以及真空室的日常維護(hù)保養(yǎng)；

真空系統(tǒng)：國產(chǎn)分子泵作為主抽泵，真空極限優(yōu)于5.0?10-5Pa（經(jīng)烘烤除氣后）；另可選進(jìn)口磁懸浮分子泵或是低溫泵作為主抽泵，真空極限優(yōu)于3.0?10-6Pa（經(jīng)烘烤除氣后）；

真空抽速：大氣～8?10-4Pa≤30min；

蒸發(fā)源：4～6組金屬或是有機(jī)束源爐蒸發(fā)源可選，多源共蒸獲得復(fù)合膜/分蒸獲得多層膜，功能強(qiáng)大，性能穩(wěn)定；

蒸發(fā)電源：真空專業(yè)蒸發(fā)電源，恒流/恒功率控制。電流、功率可預(yù)先設(shè)置，可實(shí)現(xiàn)一鍵啟動和停止的自動控制功能；

基片臺：120mm基片/15～25mmITO/FTO玻璃25片，可定制一體化高精度刻蝕掩膜板；基片臺公轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速0～20r/min連續(xù)可調(diào)；

基片臺功能：襯底可選擇加熱（室溫～300℃可調(diào)可控）或水冷，基片臺可選升降，源基距350mm；

濺射電源：直流脈沖濺射電源、全自動匹配的射頻濺射電源可任選；

膜厚監(jiān)控儀：可選配國產(chǎn)或進(jìn)口單水冷探頭膜厚儀；

可鍍材料：可沉積金屬（Au、Ag、Al、Ca、Cu、Mg、Fe、Cr、Ti、Ni等）、非金屬、化合物（MoO3、LiF等）及有機(jī)材料，可拓展沉積單層膜、多層膜及混合膜；

控制方式：PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實(shí)現(xiàn)一鍵抽停真空。

維意真空高真空多源蒸發(fā)鍍膜機(jī)支持定制

EV-246小型電阻蒸發(fā)鍍膜機(jī)

真空腔室：1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接，上開蓋和前開門結(jié)構(gòu)；

真空系統(tǒng)：機(jī)械泵+分子泵（進(jìn)口和國產(chǎn)可選）；

極限真空：優(yōu)于8?10-5Pa（設(shè)備空載抽真空24h）；

真空抽速：大氣～8?10-4Pa≤30min；

基片臺：可拆卸式，尺寸60?60mm，旋轉(zhuǎn)0～20r/min可調(diào)，可加熱至300℃（可選水冷功能）；

蒸發(fā)源及電源：水冷銅電極3組，逆變式蒸發(fā)電源，功率2KW，配源間防污隔板；

膜厚監(jiān)控儀：采用國產(chǎn)或進(jìn)口膜厚監(jiān)控儀在線監(jiān)測和控制蒸發(fā)速率、膜厚；

控制方式：PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實(shí)現(xiàn)一鍵抽停真空；

整機(jī)尺寸：L60cm?W60cm?H96cm機(jī)電一體化機(jī)架，預(yù)留1個CF35法蘭接口。