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D07-19F 氣體質(zhì)量流量控制器

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京華丞電子有限公司
  • 品牌 七星華創(chuàng)
  • 型號(hào) D07-19F
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2020/6/20 11:40:40
  • 訪問(wèn)次數(shù) 9192

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  北京華丞電子有限公司(簡(jiǎn)稱:華丞電子)原名北京華創(chuàng)流量計(jì)有限公司,在傳承四十余年流量測(cè)控經(jīng)驗(yàn)技術(shù)的基礎(chǔ)上,整合融入射頻、晶圓傳輸?shù)葘I(yè)技術(shù)優(yōu)勢(shì)和創(chuàng)新能力,致力于為半導(dǎo)體、清潔能源、真空工業(yè)、生命科學(xué)及科學(xué)研究五大領(lǐng)域用戶,提供精密零部件產(chǎn)品及整體解決方案。
 
  華丞電子秉承“以客戶需求為導(dǎo)向的持續(xù)創(chuàng)新”理念,精研需求、尊重科學(xué)、潛心技術(shù)、持續(xù)創(chuàng)新,形成了流量測(cè)控、真空測(cè)控、氣路系統(tǒng)、射頻電源、ESC直流電源、匹配器、晶圓傳輸系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。公司已布局四大研發(fā)生產(chǎn)基地,營(yíng)銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞主要國(guó)家和地區(qū)。
 
  作為精密控制的先行者,華丞電子以持續(xù)創(chuàng)新為己任,勇于突破自身邊界,積極探索前沿技術(shù),以合作共贏為基礎(chǔ),為全球合作伙伴貢獻(xiàn)華丞價(jià)值。
 

氣體質(zhì)量流量計(jì)、數(shù)字氣體流量計(jì)、氨氣流量控制器、氧氣流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 產(chǎn)品種類 質(zhì)量式
價(jià)格區(qū)間 面議 介質(zhì)分類 氣體
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

D07-19F氣體質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對(duì)各種氣體進(jìn)行測(cè)量和控制,除測(cè)量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量,質(zhì)量流量計(jì)(MFM)可以精密測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。D07-19產(chǎn)品是流量計(jì)研發(fā)精度高、響應(yīng)時(shí)間快的模擬產(chǎn)品。

D07-19F氣體質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對(duì)各種氣體進(jìn)行測(cè)量和控制,除測(cè)量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量,質(zhì)量流量計(jì)(MFM)可以精密測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。D07-19產(chǎn)品是流量計(jì)研發(fā)精度高、響應(yīng)時(shí)間快的模擬產(chǎn)品。

特點(diǎn)

• 高精度,快響應(yīng)型
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 采用DB15型電插頭,標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接頭
• 兼容

D07-19質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目

D07-19B

D07-19BM

D07-19F

D07-19FM 型

流量規(guī)格

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

0~1,2,3,5,10,20,30 SLM

準(zhǔn)確度

±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±1% F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

線性

±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±0.5% F.S. (20,30SLM: ±2% F.S.)

重復(fù)精度

±0.2 % F.S.

±0.2 % F.S.

±0.2 % F.S.

±0.2 % F.S.

響應(yīng)時(shí)間

≤2 sec

≤2sec

≤4 sec

≤4 sec

工作壓差范圍

≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)
>10SLM: 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)

-

≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)
>10SLM: 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)

-

氣壓降

-

<0.02 MPa (2.9 psid)

-

<0.02 MPa (2.9 psid)

大工作壓力

1 MPa

1 MPa

1 MPa

1 MPa

耐壓

3 MPa (435.1 psig)

10 MPa (1450.4 psig)

3 MPa (435.1 psig)

10 MPa (1450.4 psig)

工作環(huán)境溫度

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

輸入輸出信號(hào)

0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)

4~20 mA 或 1~5 VDC

4~20 mA 或 1~5 VDC

電源

+15 V  50 mA 
-15V  200 mA

+15 V  50 mA
-15 V  50 mA

24 VDC  100 mA

24 VDC  100 mA

重量

0.95 kg

0.7 kg

1.2 kg

1 Kg

 



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