LCVD-G4.5 LCVD 激光修復(fù)機(jī)
| 參考價(jià) | ￥ 10000 |
| 訂貨量 | ≥1 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 深圳市森美協(xié)爾科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) LCVD-G4.5
- 產(chǎn)地 中國
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2017/10/12 11:09:56
- 訪問次數(shù) 507
產(chǎn)品標(biāo)簽
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備：探針臺(tái)，I-V/C-V參數(shù)測(cè)試儀，網(wǎng)絡(luò)分析儀，激光系統(tǒng)，金相顯微鏡，EMMI微光顯微鏡，X射線，C-SAM超聲波探測(cè)，電子顯微鏡
| 型號(hào) | LCVD-G4.5 | LCVD-G8.5 | |
| 外形 | 2,500mm（寬） x2,000mm（長(zhǎng)） x 2,500 mm (高 ) | 4,000mm（寬） x3,500mm（長(zhǎng)） x 2,500 mm (高 ) | |
| 重量 | 6.5噸左右 | 10.5噸左右 | |
| 電力需求 | 380V，50Hz, 3Phase, approx. 40A Max | 380V，50Hz, 3Phase, approx.60A Max | |
| 修復(fù)能力 | 可修復(fù)產(chǎn)品尺寸 | 長(zhǎng)寬≤920 * 730 mm(W x D) , 厚度≤3mm | 長(zhǎng)寬≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm |
| 沉積材質(zhì) | W,Cr,Mo,Al | ||
| 沉積線路速度 | 5~10um/s(厚度5000 ?) | ||
| 單處缺陷修復(fù)時(shí)長(zhǎng) | 定位后，修復(fù)單處缺陷時(shí)間在5s左右 | ||
| 工藝參數(shù) | 軟件可以添加任意組工藝參數(shù) | ||
| Cutting寬度 | 2um到50um可調(diào) | ||
| 沉積寬度 | 3um到30um可調(diào) | ||
| 沉積邊緣精度 | +-0.5um | ||
| 沉積厚度 | 2000 ? ~15000?可調(diào) | ||
| 沉積線路的電阻值 | <65歐姆 (寬度5um, 長(zhǎng)度50um,厚度5000 ?) | ||
| 沉積穩(wěn)定性 | 1.清洗機(jī)清洗次數(shù)>10 times | ||
| 2.棉簽蘸丙酮擦拭>500次 | |||
| 3.強(qiáng)酸堿測(cè)試>1H | |||
| 3.毛刷擦拭>1H | |||
| 4.超聲波1MHZ>1H | |||
| 平臺(tái)功能 | Gantry結(jié)構(gòu) | 龍門式 | |
| X-Y-Z運(yùn)動(dòng)行程 | 920 *730*58mm(X-Y-Z) | 2500 *2200*58mm(X-Y-Z) | |
| X-Y運(yùn)動(dòng)速度 | 0~200mm/s可調(diào) | ||
| 精度(zui小移動(dòng)量) | 0.1um | ||
| Z 運(yùn)動(dòng)速度 | 0~2mm/s可調(diào) | ||
| 精度(zui小移動(dòng)量) | 0.1um | ||
| 重復(fù)定位精度 | +-5um | ||
| 修復(fù)對(duì)位精度 | 0.1um | ||
| 減震 | 主動(dòng)式減震系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫面不抖動(dòng) | ||
| 照明 | 平臺(tái)有下光源，并且能夠上下光源切換，屏蔽罩內(nèi)安裝照明，照度達(dá)到1000lux以上。 | ||
| 光學(xué)特性 | 光路系統(tǒng)倍率： | 50X~ 1000X | |
| 5X ,10X ,20X , 50X NIR, 50X UV,50X NUV Objects | |||
| 光學(xué)分辨率 | 0.7um | ||
| 物鏡切換速度 | 0.2~0.7s | ||
| 切換鏡頭偏差 | 小于3um | ||
| 聚焦 | 激光自動(dòng)聚焦 | ||
| 相機(jī) | 200萬像素 | ||
| 激光特性 | 激光系統(tǒng) | DPSS激光切割系統(tǒng) | |
| CW激光沉積系統(tǒng) | |||
| 能量調(diào)節(jié)精度 | 0-1000 steps | ||
| 0-* | |||
| Slit 窗口調(diào)節(jié)大小 | 0~2.4mm | ||
| slit 窗口控制精度 | 1um | ||
| 激光能量校準(zhǔn)方式 | 自動(dòng)校準(zhǔn) | ||
| 校準(zhǔn)時(shí)間 | 3mins | ||
| 激光能量校準(zhǔn)精度 | 優(yōu)于2% | ||
| 激光波長(zhǎng) | Cut Laser :IR 1064nm，GRN 532nm，UV 266nm | ||
| CVD CW laser :NUV 351nm | |||
| 脈寬 | < 12 ns | ||
| 光斑尺度 | 2.0~ @50X object 1064nm (在標(biāo)準(zhǔn)mask上測(cè)試) | ||
| 掃描面能量均勻性 | 優(yōu)于5% IR | ||
| 激光壽命 | Cut Laser:10億次激發(fā) | ||
| CVD CW laser: 8000小時(shí) | |||
| 修復(fù)工作模式 | Scan掃描式和 Step模式 | ||
| 掃描路徑 | 可任意定義路徑 | ||
| 控制 | 工作模式 | 自動(dòng)修復(fù)，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的自動(dòng)導(dǎo)入和輸出，聯(lián)機(jī)通訊 | |
| 手動(dòng)或者半自動(dòng)修復(fù) | |||
| 上下片 | 機(jī)械手或者流水線 | ||
| CIM系統(tǒng) | 有 | ||
| 減震 | 主動(dòng)式減震系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫面不抖動(dòng) | ||
| 工業(yè)PC | 23寸顯示器&電腦：i7 處理器，1TB硬盤2塊(其中一塊為備份硬盤)，8G內(nèi)存，1G獨(dú)立顯卡，DVD-ROM | ||
| 通訊接口 | RS232/EtherCAT/GPIB等 | ||
| 安全 | 整機(jī)帶屏蔽罩，操作人員在屏蔽罩外操作 | ||
| 緊急開關(guān)EMO | |||
| 限位sensor，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和激光系統(tǒng)限位互鎖 | |||
| Interlock報(bào)警，自動(dòng)關(guān)閉系統(tǒng)(軟件設(shè)置為可選) | |||
| 應(yīng)用 | TFT-LCD 和 OLED Panel 布線開路和短路的修復(fù),Mask 的缺陷修復(fù) | ||
采購中心
化工儀器網(wǎng)