維意真空磁控濺射鍍膜機(jī)支持定制

真空腔室：直徑450?H400mm，1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接，前開(kāi)門結(jié)構(gòu)；

真空系統(tǒng)：機(jī)械泵+分子泵（進(jìn)口和國(guó)產(chǎn)可選）；

極限真空：優(yōu)于5?10-5Pa（經(jīng)烘烤除氣后）；

真空抽速：大氣～8?10-4Pa≤30min；

升降基片臺(tái)：2～6英寸基片臺(tái)，靶基距60～120mm連續(xù)在線自動(dòng)可調(diào)，旋轉(zhuǎn)0～20r/min可調(diào)，可加熱至500℃（可選水冷功能），可選配偏壓清洗功能；

磁控靶：直徑3英寸2～4只（可升級(jí)成直徑4英寸靶2～3只），兼容直流和射頻，可以濺射磁性材料的靶材；

濺射電源：直流脈沖濺射電源、全自動(dòng)匹配的射頻濺射電源可任選；

質(zhì)量流量計(jì)：2～3路工藝氣體，可根據(jù)工藝要求增加；

膜厚監(jiān)控儀：可選配國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口單水冷探頭膜厚儀；

控制方式：PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實(shí)現(xiàn)一鍵抽停真空。

維意真空為高校、科研院所設(shè)計(jì)加工高真空、超高真空的真空腔體，可以根據(jù)客戶的技術(shù)要求（PPT）開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)，也可以按圖（草圖、CAD圖、照片）設(shè)計(jì)加工?？梢约庸さ恼婵涨惑w形狀：方腔、圓柱型、D型及其它要求的形狀；可以加工的真空腔體材質(zhì)：不銹鋼材質(zhì) (304、304L、316,、316L) 、碳鋼材質(zhì)、鋁材質(zhì)、有機(jī)玻璃材質(zhì)等。維意真空依托專業(yè)的真空產(chǎn)品設(shè)計(jì)能力、完善的真空機(jī)械加工體系以及快速的服務(wù)響應(yīng)支持，承接各種規(guī)格型號(hào)的真空室開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)、按圖定制等。我們?yōu)楦哒婵栈虺哒婵諔?yīng)用設(shè)計(jì)及制造的各種真空腔體，包括為高校和科研院所設(shè)計(jì)真空試驗(yàn)腔體、真空環(huán)境模擬腔體、真空放電測(cè)試腔體、真空激光焊接腔體、CVD反應(yīng)腔體、真空鍍膜室等。

我們的產(chǎn)品嚴(yán)格遵照相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，并執(zhí)行原材料檢驗(yàn)、加工在線檢測(cè)、半成品檢測(cè)及成品出廠檢測(cè)，對(duì)于非標(biāo)定制的產(chǎn)品與客戶聯(lián)合檢測(cè)驗(yàn)收；需要特別指出的是對(duì)于真空室，所有接縫處、焊接處及法蘭連接處都要通過(guò)嚴(yán)格的觀察檢驗(yàn)及氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏測(cè)試，并對(duì)整個(gè)系統(tǒng)進(jìn)行漏率測(cè)試，系統(tǒng)漏率優(yōu)于 8.0×10-8 Pa.L/S。

維意真空踐行“先服務(wù)，后銷售”原則，承諾對(duì)本公司銷售的產(chǎn)品提供不少于12個(gè)月的質(zhì)保服務(wù)（可根據(jù)客戶要求提供延保服務(wù)），質(zhì)保期內(nèi)設(shè)備的維修免費(fèi)。質(zhì)保期外，提供終身服務(wù)。對(duì)于操作故障，本公司在接到故障通知2小時(shí)內(nèi)給予解答；對(duì)于設(shè)備故障，公司在接到故障通知后，北京地區(qū)12小時(shí)內(nèi)派技術(shù)人員到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)處理，外阜地區(qū)48小時(shí)內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)。

維意真空磁控濺射鍍膜機(jī)支持定制