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單軸壓電掃描臺/納米平移臺

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上海昊量光電設(shè)備有限公司  
Aunion Tech Co., Ltd
專業(yè)源自專注  專注成就未來

自2008年成立以來,昊量光電專注于光電領(lǐng)域的技術(shù)服務(wù)與產(chǎn)品經(jīng)銷,致力于引進guo外*先進性與創(chuàng)新性的光電技術(shù)與可靠產(chǎn)品,為國內(nèi)Z前沿的科研與工業(yè)領(lǐng)域提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù),助力中國智造與中國創(chuàng)造! 目前,昊量光電已經(jīng)與來自美國、歐洲、日本的多家光電產(chǎn)品制造商建立了緊密的合作關(guān)系。其代理品牌均處于相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展前沿,產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測量設(shè)備、精密光學(xué)元件等,所涉足的領(lǐng)域涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究與國防等。

昊量光電堅持“專業(yè)源自專注,專注成就未來”的經(jīng)營理念。近年來,我們專注于前沿的細分市場,為量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、精密加工、先進激光制造等領(lǐng)域的客戶提供系統(tǒng)解決方案。

作為一家以技術(shù)溝通與技術(shù)服務(wù)見長的高科技企業(yè),我們所有的銷售與技術(shù)服務(wù)團隊成員都具有理工科方面的專業(yè)背景,并在公司接受相關(guān)領(lǐng)域的專業(yè)培訓(xùn),在售前技術(shù)溝通、售后產(chǎn)品安裝培訓(xùn)、產(chǎn)品問題解決、軟硬件增值服務(wù)等方面為客戶提供更加專業(yè)化的服務(wù)!我們專業(yè)高效的商務(wù)與物流部門憑借多年積累的貿(mào)易經(jīng)驗與規(guī)范化的制度流程,保障每一筆訂貨準時安全到達目的地,免除客戶的后顧之憂!

秉承誠信、高效、創(chuàng)新、共贏的核心價值觀,昊量光電堅持以誠信為基石,憑借高效的運營機制和勇于創(chuàng)新的探索精神為我們的客戶與與合作伙伴不斷創(chuàng)造價值,實現(xiàn)各方共贏!

立足于光電產(chǎn)業(yè),昊量光電始終堅持價值創(chuàng)造與創(chuàng)新,贏得客戶與合作伙伴的認可,不斷拓展業(yè)務(wù)領(lǐng)域的新邊疆,立志打造的代理服務(wù)品牌!



激光器調(diào)制器,激光測量加工設(shè)備,光學(xué)部件,光譜儀,光纖器件,晶體,精密定位系統(tǒng)掃描系統(tǒng),探測器光子計數(shù)器,專用實驗設(shè)備,相機

應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

單軸壓電掃描臺/納米平移臺

AU-NPS-X系列納米定位工作臺采用壓電陶瓷直推驅(qū)動,以柔性鉸鏈為運動副,使其具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無機械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點。全行程采用電容位移傳感器閉環(huán)反饋設(shè)計,精度可達到亞納米量級。結(jié)合數(shù)字閉環(huán)控制器,納米定位工作臺的響應(yīng)時間和穩(wěn)定時間可達到毫秒量級。



Nanopositioning Stages 亞納米定位工作臺 微定位工作臺 微動臺 壓電精密定位系統(tǒng),納米平移臺,納米定位臺,納米掃描臺,壓電平移臺



單軸壓電掃描臺/納米平移臺

AU-NPS-X系列納米定位工作臺zui初的設(shè)計是為了滿足超快速度和超精密的應(yīng)用。納米定位工作臺采用壓電陶瓷直推驅(qū)動,以柔性鉸鏈為運動副,使其結(jié)構(gòu)緊湊、擁有小的體積、無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優(yōu)點。


全行程采用電容位移傳感器閉環(huán)反饋控制系統(tǒng)設(shè)計,電容位移傳感器是將位移變化轉(zhuǎn)換為電容電量信號的變化。電容位移傳感器簡單易用,而且擁有*的精度,可達到亞納米量級。結(jié)合數(shù)字閉環(huán)控制器,納米定位工作臺的響應(yīng)時間和穩(wěn)定時間可達到毫秒量級。低的移動質(zhì)量和高的剛度結(jié)合可以提供非常高的帶寬。


對于大行程的納米定位臺,采用目前業(yè)內(nèi)zui*的雙傳感技術(shù)與以往相比可以提供更快的響應(yīng)速度,提高有效載荷出現(xiàn)變化時的穩(wěn)定性和更高的帶寬。這項突破性的技術(shù)能夠應(yīng)用于各種袖珍模擬和數(shù)字控制器,其操作簡便,為用戶提供*性能。


公司的一維納米定位工作臺主要包含以下幾款產(chǎn)品:


①超緊湊型閉環(huán)亞納米微動臺



AU-NPS-X-5A一款已推出市面上體積zui小的閉環(huán)一微亞納米級別的微動臺。體積只有23 x 16.5 x 7.6 mm(長高)。應(yīng)用電容位移傳感器,位移分辨率達到亞納米級別。空載下的自振頻率更是高達8000HZ。采用鋁合金材質(zhì),其擁有較輕的質(zhì)量和高的剛度,使其有高的帶寬,在zui大負載的情況下響應(yīng)時間可達到亞毫秒級別。



單軸壓電掃描臺/納米平移臺




超快一維亞納米定位平臺



AU-NPS-X-10A是一款超快的一維亞納米微動臺,用于高速的、超精密的應(yīng)用。該設(shè)備在空載下的自振頻率高達9500HZ。在7g負載的情況下仍可達到8700HZ。并且該產(chǎn)品具有良好的位置重復(fù)性。擁有良好的響應(yīng)速度,響應(yīng)時間達到毫秒量級。并且該款產(chǎn)品可按照不同需求進行工業(yè)定制。



單軸壓電掃描臺/納米平移臺


超大行程的一維納米微動臺

AU-NPS-X-500A采用壓電陶瓷直推驅(qū)動,以柔性鉸鏈為運動副,使其具有較緊湊的體積,使用電容傳感器,在整個行程中分辨率精度可高達亞納米級別。使用雙傳感設(shè)計,可提供更快的階躍響應(yīng),提高有效載荷出現(xiàn)變化時的穩(wěn)定性,并擁有更大的帶寬,使其擁有更快的響應(yīng)時間。


高負載大推力一維亞納米微動臺


AU-NPS-X-30B是一款高負載的微動臺,zui高負載可高達10kg。其擁有極寬的帶寬高達1KHZ??蛰d下的自振頻率更是高達5000HZ


單軸壓電掃描臺/納米平移臺




除了以上幾款產(chǎn)品AU-NPS-X-15A/15D這兩款亞納米一維微動臺也擁有優(yōu)異的性能。外加負載可高達5kg。擁有較高的帶寬,在50g負載的情況下,響應(yīng)時間可達毫秒量級。AU-NPS-X-15DAU-NPS-X-15A屬于相同型號,但是具有更高的高度(15.5mm),因此擁有更高的剛度,因此具有較寬的帶寬、較低的穩(wěn)定時間和較高的自振頻率。


單軸壓電掃描臺/納米平移臺


u  主要特點

  • 亞納米的分辨率

  • 高的帶寬

  • 高速響應(yīng)

  • 高的可靠性

  • 結(jié)構(gòu)緊湊

  • 壓電陶瓷驅(qū)動

  • 柔性鉸鏈設(shè)計

  • 電容位移傳感器閉環(huán)反饋




u  主要應(yīng)用

 磁頭和磁盤驅(qū)動測試、計量學(xué)、干涉度量學(xué)、原子力顯微鏡等





u  產(chǎn)品主要參數(shù)



型號

參數(shù)

AU-NPS-X-5A

AU-NPS-X-15A

AU-NPS-X-15D

AU-NPS-X-500A

AU-NPS-X-30B

AU-OEM-X-10A

Material

Aluminium

Stainless steel 316

Stainless steel 316

Titanium &

Aluminium Alloy

Titanium

Titanium

Size


23 long x 16.5 wide x 7.6 high

60 long x 40 wide x 13.5 high

60 long x 40 wide x 15.5 high

60 x 60 x 20

60 long x 40 wide x 15.5 high

62 long x 40 wide x 22 high

Range (mm)

Minimum


± 7.5

± 7.5

500

± 15

± 5

Typical

6.5

± 8

± 8



± 6

Maximum







Resonant frequency: 0g load

Minimum


3000 HZ

3500 HZ

260 HZ

4500 HZ


Typical

8000 HZ



5000 HZ

9500 HZ

Maximum






Resolution

sub-nanometer

1 nm

sub-nanometer

Maximum load

5 g

5 kg

5 kg

1 kg

10 kg

0.2 kg

Position noise(1σ ) /nmrms

Fast


0.2

0.2


0.12

0.05

Medium

0.1

0.1

0.1

0.09

0.07

Slow


0.05

0.05

0.04

0.1

Linearity error (peak)/%

Minimum







Typical

0.1

0.01

0.01

0.02

0.01

0.01

Maximum

0.2

0.02

0.02


0.02

0.02
















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