真空氬氣流量控制器用于對(duì)各種氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制,大量用于電子工藝設(shè)備(如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射等)以及鍍膜設(shè)備、光導(dǎo)纖維制造中;并廣泛化工化纖，實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用等各個(gè)領(lǐng)域。真空集熱管鍍膜機(jī)推廣應(yīng)用新技術(shù)———雙路質(zhì)量流量控制器在太陽(yáng)能真空集熱管選擇性吸收涂層鋁靶磁控濺射鍍制工藝中，曾經(jīng)采用自動(dòng)壓強(qiáng)控制器引入氬氣，質(zhì)量流量控制器引入反應(yīng)性氣體氮。真空氬氣流量控制器經(jīng)過(guò)*的生產(chǎn)實(shí)踐發(fā)現(xiàn)，自動(dòng)壓強(qiáng)控制器中有幾個(gè)不穩(wěn)定的因素：一是壓電閥中的壓電陶瓷片易受潮失控和*使用失效；二是壓電閥中的片壓力不均勻及機(jī)械彈力變化引起失控；三是高壓強(qiáng)電離規(guī)管參數(shù)不能*穩(wěn)定。真空氬氣流量控制器顯然，以上不穩(wěn)定因素均會(huì)影響氬氣的真實(shí)流量，使預(yù)定的工藝參數(shù)漂移，影響鍍膜質(zhì)量，甚至無(wú)法將工藝操作進(jìn)行下去。