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2Z-HVZ系列 高真空MEMS焊封機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

回流焊高真空焊封機(jī)

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First-Nano System GmbH 

  • 2003年          創(chuàng)立于德國德累斯頓工業(yè)大學(xué)(Dresden University of Technology)

  • 2008年          香港成立德國韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司   

  • 2015年          上海成立德國韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司中國代表處,負(fù)責(zé)中國區(qū)業(yè)務(wù)

  • 2018年          深圳正式成立韋氏納米系統(tǒng)(深圳)有限公司,更好的為中國南方區(qū)市場

     

德國韋氏納米系統(tǒng)成立以來,一直為客戶想的更多,Thinking more !??!

 

產(chǎn)品范圍:

薄膜沉積/Thin Film Deposition 
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蝕/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面處理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma Cleaner, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma Cleaner
- Wet: Megasonic, 杜邦EKC清洗液
其他/Other,
Device Testing System for Space Simulation, Heated Platens, Plasma Sources, Resist Stripping Systems

等離子清洗機(jī),均膠機(jī),薄膜沉積,刻蝕

 

高真空MEMS焊封機(jī)   2Z-HVZ系列

?特點(diǎn):

  • 具有高可靠性的密封(可達(dá)到 10- 6 hPa);

  • MEMS器件可以在2個(gè)不同溫度加熱區(qū)進(jìn)行工藝,溫度差可高達(dá)450°,也可Getter 激活前密封;

  • 可以加工6MEMS平行工藝焊封(最大6個(gè)適配器每個(gè)直徑14mm);

  • 在真空中的溫度升率:35 K /M;

  • PID 控制器允許多達(dá)20個(gè)程序,每個(gè)程序可100個(gè)步驟存儲;

  • USB接口可以方便編程和存儲無限程序。過程數(shù)據(jù)可以記錄并保存;

  • 開放視窗結(jié)構(gòu)允許連續(xù)監(jiān)測/觀看的過程  ;            

  • 該系統(tǒng)使用與小量和概念MEMS,相比其他系統(tǒng)是一個(gè)低成本的解決方案;

 

 

應(yīng)用如下:

  •  焊縫MEMS微機(jī)械系統(tǒng);

  • 吸氣劑活化;

  • 兩溫區(qū)熱處理工藝;

  •  



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